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CentroTherm OXIDTOR150高溫氧化爐

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 武漢瑞德儀科技有限公司
  • 品牌
  • 型號(hào)
  • 所在地 武漢市
  • 廠商性質(zhì) 其他
  • 更新時(shí)間 2024/9/27 14:39:06
  • 訪問(wèn)次數(shù) 29

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Centrotherm OXIDATOR 150是一種高溫爐,是商先創(chuàng)公司熱解決方案為碳化硅(SiC)的氧化專門(mén)設(shè)計(jì)的

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【產(chǎn)品簡(jiǎn)介】

centrotherm OXIDATOR 150是一種高溫爐,是商先創(chuàng)公司熱解決方案為碳化硅(SiC)的氧化專門(mén)設(shè)計(jì)的。

工藝溫度高達(dá)1500℃,可使用氧氣(O2)、一氧化二氮(N2O)、氧化氮(NO)、二氧化氮(NO2)或濕法進(jìn)行氧化,從而使靈活性與業(yè)經(jīng)證明的工藝質(zhì)量地結(jié)合。擁有無(wú)金屬加熱與雙真空裝備,OXIDATOR 150目前是市場(chǎng)上的可用有毒氣體的氧化爐。

【適用工藝】

·氧化

【產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)】

·2英寸、3英寸、4英寸與6英寸晶圓或任何組合的批量加工

·加熱速度達(dá)到7.5/分鐘

·批量多達(dá)50片(150毫米)晶圓

·加工壓力范圍從850毫巴到大氣壓


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