同軸 TKD 具有的性能----空間分辨率（低探頭電流要求）

電子顯微鏡分析儀QUANTAX EBSD系統(tǒng)與廣受歡迎的OPTIMUS TKD探頭相結(jié)合，是用于分析SEM中納米材料的晶體學(xué)解決方案。

一、亮點

1）1.5nm------有效的空間分辨率

的同軸 TKD 提供的樣品-探測器幾何構(gòu)型，從而實現(xiàn)的性能

2）2nA------測試所需的電流

同軸 TKD 可實現(xiàn)低探頭電流測試，且不影響測試速度和數(shù)據(jù)質(zhì)量

3）125,000Pps------超快獲取 FSE、BSE 和 STEM 圖像

的ARGUS成像系統(tǒng)可在幾秒鐘內(nèi)實現(xiàn)高對比度和低噪聲成像

4）具有的空間分辨率的納米材料取向分布圖

QUANTAX EBSD 系統(tǒng)加上廣受歡迎的 OPTIMUS TKD 探測器，是分析 SEM 中納米材料的解決方案。原因如下：

       a）提供 1.5 nm 的空間分辨率

       b）在不影響速度和/或數(shù)據(jù)質(zhì)量的情況下以低測試電流進行測試

       c）在使用浸入式透鏡模式的超高分辨 SEM 下工作的 TKD 解決方案

       d）全自動內(nèi)置 ARGUS 成像系統(tǒng)

二、優(yōu)勢

同軸 TKD的優(yōu)勢

    a）實現(xiàn)空間分辨率

    b）SEM 中獲取取向分布圖和物相分布圖

    c）用于快速測試，同時不影響數(shù)據(jù)質(zhì)量/完整性

   d）以令人難以置信的速度，通過全自動信號優(yōu)化，以出色的對比度和分辨率拍攝 STEM 圖像

   e）可使用低電流分析束流敏感材料。

三、相關(guān)圖片