探針式輪廓儀(臺階儀)的行業(yè)金標準

DektakXT®探針式輪廓儀采用革命性的臺式設計，可實現(xiàn) 4? （0.4nm） 的的重復性，掃描速度可提高 40%。探針式輪廓儀性能的這一重大里程碑是 Dektak® 五十多年創(chuàng)新和地位的。DektakXT 結合了一的技術和設計，可提供的性能、易用性以及價值，實現(xiàn)從研發(fā)到質量控制的更好過程監(jiān)控。DektakXT 的技術突破為微電子、半導體、太陽能、高亮度 LED、醫(yī)療和材料科學行業(yè)的關鍵尺寸的納米級表面測量提供支持。

1）臺階高度重復性4 ?

*單拱龍門式設計實現(xiàn)了突破性的掃描穩(wěn)定性

*的”智能化電子器件”實現(xiàn)了低噪聲的新標 準—新的硬件配置使數(shù)據(jù)采集能力提高了40%

*64位 的Vision64同步數(shù)據(jù)處理軟件，將數(shù)據(jù) 分析速度提高十倍。

2）功能，操作簡易

*直觀的Vision64用戶界面操作流程簡便易行

*自對準式探針設計使得更換探針的步驟簡便易行

3）探針輪廓儀，的價值

* 性能優(yōu)異, 物超所值

*的傳感器設計使得在單一平臺上即可實現(xiàn)超微力和正常力測量

臺階儀性能優(yōu)劣取決于以下三方面: 測量重復性, 測試速度和操作難易程度，這些因素決定了實驗數(shù)據(jù)的質量和實驗操作的效率。DektakXT采用全新的儀器系統(tǒng)構造和化的測量及數(shù)據(jù)處理軟件來實現(xiàn)可靠、快速和簡易的樣品檢測，達到的儀器使用效果。

4）提高操作的可重復性

DektakXT 的多處設計保證了其的表現(xiàn), 達到優(yōu)于 5 埃的測量重復性. 使用單拱龍門結構比原先的懸臂梁設計更堅硬持久不易彎曲損壞，而且降低了周圍環(huán)境中聲音和震動噪音對測量信號的影響。同時，Bruker 完善了儀器的智能化電子器件，提高了其工作性能的穩(wěn)定性，降低溫度變化對器件的影響，并且采用的數(shù)據(jù)處理器。在控制器電路中使用智能敏化電子器件，會把

系統(tǒng)和環(huán)境噪音引起的測量誤差降到。因此采用DektakXT 測量系統(tǒng)，能夠更穩(wěn)定可靠地掃描高度小于10nm 的臺階，獲得其形貌特征。單拱龍門結構和智能器件的聯(lián)用，大大降低了基底噪音，增強了穩(wěn)定性，使其成為一個競爭力的表面輪廓儀。

5）提高測量和數(shù)據(jù)分析速度

采用高速的直接驅動掃描樣品臺, DektakXT 在不犧牲分辨率和基底噪音水平的前提下,大大縮短了每次掃描的間隔時間。這一改進，提高了進行大范圍 3D 形貌表征或者表面長程應力掃描的掃描速度。在保證質量和重復性的前提下，可以將數(shù)據(jù)采集處理的速度提高 40%。另外DektakXT 采用 Bruker 具有 64 位數(shù)據(jù)采集同步分析的Vision64，它可以提高大范圍 3D 形貌圖的高數(shù)據(jù)量處理速度，并且可以加快數(shù)據(jù)濾波和多次掃描數(shù)據(jù)庫分析的速度。Vision64 還具有直觀的用戶界面，簡化了實驗操作設置，可以自動完成多掃描模式，使很多枯燥繁復的實驗操作變得更快速簡潔。

6）簡便易行的實驗操作系統(tǒng)

為了便于操作可供多用戶使用的系統(tǒng)，一個必要條件就是能夠迅速簡便地更換不同模式所需要的探針。DektakXT新穎的探針和部件自動對準裝置，可以盡量避免用戶在裝針的過程中出現(xiàn)針尖損傷等意外。這一改進使原來費時耗力的實驗步驟變得簡便易行。為盡可能滿足所有應用的需求，布魯克提供各種尺寸的標準探針和特制探針，其中包括專為深槽測量定制的高深寬比的探針。

7）完善的數(shù)據(jù)采集和分析系統(tǒng)

與DektakXT的創(chuàng)新性設計相得益彰的配置是Bruker的Vision64操作分析軟件。Vision64提供了操作上簡潔的用戶界面，具備智能板塊，可視化的使用流程，以及各種參數(shù)的自助設定以滿足用戶的各種使用要求，快速簡便的實現(xiàn)各種類型數(shù)據(jù)的采集和分析。簡明的測量窗口集參數(shù)設定與硬件控制于一體，極富邏輯性，既可使不常使用儀器者輕松回憶起如何操作，又可使操作老手不至于為過多的基本重復步驟而煩惱或分心。

數(shù)據(jù)獲取后，軟件的自動調(diào)平，臺階識別分析，以及數(shù)據(jù)分析模塊的各種濾波功能等使得分析簡便快捷。使用數(shù)據(jù)分析模塊，不論是通過一個程式來處理單次掃描結果的標準分析，還是嘗試使用多種濾波設置和計算，使用者都可以清晰地看到數(shù)據(jù)處理結果以及其他可用的分析手段。

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