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X系列半自動探針臺

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 成都眾儀科技有限公司
  • 品牌
  • 型號
  • 所在地 成都市
  • 廠商性質(zhì) 其他
  • 更新時間 2024/9/27 14:22:02
  • 訪問次數(shù) 76

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產(chǎn)品概要X12半自動探針臺是一款專業(yè)應(yīng)對各類芯片性能測試的綜合型高效半自動晶圓探針臺,集成了電學(xué)、光波、微波等多功能,具有目前行業(yè)較高的溫寬區(qū)和測試精度,可匹配多種測試應(yīng)用環(huán)境

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產(chǎn)品概要

X12半自動探針臺是一款專業(yè)應(yīng)對各類芯片性能測試的綜合型高效半自動晶圓探針臺,集成了電學(xué)、光波、微波等多功能,具有目前行業(yè)較高的溫寬區(qū)和測試精度,可匹配多種測試應(yīng)用環(huán)境。

基本信息

產(chǎn)品型號

X12

工作環(huán)境

開放式

電力需求

220V,50~60Hz

操控方式

半自動

產(chǎn)品尺寸

1200MM*1600MM*1400MM

設(shè)備重量

約1350KG

應(yīng)用方向

X12半自動探針臺設(shè)備專業(yè)應(yīng)對12"、8"、6"的晶圓Si/GaN/SiC等各類器件的芯片性能測試,可配備相應(yīng)的儀器儀表,進行I-V、C-V、光信號、RF、1/f噪聲等特性分析,設(shè)備功能豐富,可升級大功率晶圓測試、射頻測試、全自動測試,并可加載溫控系統(tǒng),滿足客戶在高低溫環(huán)境下的各種晶圓器件性能測試需求。

技術(shù)特點

高效的CHUCK系統(tǒng),測試效率提升40%以上

  • 高效的CHUCK測試系統(tǒng)運行速度≤70mm/s,運動精度≤1μm,同時移動轉(zhuǎn)位時間index time≤500ms,優(yōu)異的系統(tǒng)運行參數(shù)已達到水平,高測試精度和效率滿足各類晶圓和器件的高重復(fù)性與穩(wěn)定性測試測試效率有效提升40%以上;
  • 優(yōu)于± 0.08℃的溫控精度和穩(wěn)定性,提供高低溫環(huán)境下的可靠性晶圓測試;
  • 四維運動低重心緊湊結(jié)構(gòu)設(shè)計,確保70mm/s的運動速率的同時保持運動加減速的穩(wěn)定性。

3倍率成像技術(shù)

內(nèi)置3 ZOOM顯微鏡多視野、三倍率同焦光路系統(tǒng),光學(xué)120X–2000X變倍放大,大小多視場同時顯示,可使點針便捷操作。

輔助CHUCK模塊、硅片安全上下片

  • 創(chuàng)新Chuck XY軸設(shè)計,確保了XY軸在運動時不受層疊板的影響,使運動精度和穩(wěn)定性更高;
  • 探針臺腔體可實現(xiàn)一次性打開,并以大行程370mm的速度快速拉出整個Chuck機構(gòu)裝卸硅片,Wafer手動上料更方便快捷;同時Chuck旋轉(zhuǎn)角度范圍更大,對于手動擺放wafer 要求更低,操作更加靈活便捷。

O型針座平臺設(shè)計

探針測試系統(tǒng)采用O型的針座平臺設(shè)計,使針座的空間擺放面積達到了高效的利用,有效實現(xiàn)更高效快速的測試。

空氣薄膜減震系統(tǒng)

內(nèi)置一體化高性能空氣薄膜減震系統(tǒng)和外置隔離防撞欄的雙重設(shè)計,有效避免因操作人員觸碰引起的震動;并采用長時效的鑄件作為基板,在運動過程中震動抑制以≤1S的快速度保證設(shè)備的平穩(wěn)運行,確保圖像2000X放大時畫面不抖動;同時高精度調(diào)節(jié)閥保證平臺運動部分在高度上的誤差為≤0.1mm,有效實現(xiàn)快速die to die的測試能力,確保整個系統(tǒng)在高速運動時仍能保持穩(wěn)定的運行狀態(tài),極大程度的提高測試效率。

防干擾屏蔽系統(tǒng)

防干擾EMI/Spectral noise/外界光密閉屏蔽腔,腔體采用導(dǎo)電氧化和鍍鎳的表面工藝處理,確保了各零件之間的導(dǎo)通狀態(tài)從而達到全屏蔽的效果,降低系統(tǒng)噪聲,有效屏蔽外界干擾,并提供低漏電流保護,為微弱電信號測試提供了的測試環(huán)境;同時密閉的腔室在低溫環(huán)境下避免了測試樣品不結(jié)露,確保了高低溫環(huán)境下晶圓和器件快速安全的可靠性測試。

自主研發(fā)的軟件集成系統(tǒng),兼容性更強

  • 支持半自動控制(可手動測試、亦可自動測試)
  • 自動Wafer校準、自動wafermapping、自動die size測量、自動align、自動測試數(shù)據(jù)可遠程訪問
  • 一鍵自動校準RF探針模塊,自動清針功能
  • 一鍵式自適應(yīng)四軸Chuck精度校準,支持微米級pad點測
  • 可支持單點測試或連續(xù)測試
  • 強大的數(shù)據(jù)儲存能力以及數(shù)據(jù)處理能力
  • 可對測試結(jié)果進行bin值劃分,判斷器件NG
  • 多系統(tǒng)集成功能,可獨立升級操作系統(tǒng)、應(yīng)用系統(tǒng)和器件測試系統(tǒng)

彈性可選配置與擴展

便捷的儀器接入同時支持系統(tǒng)全自動擴展升級,溫控系統(tǒng)加載;另有多種測試模塊可選,根據(jù)測試模塊可搭載各種定位器、夾具和針卡與探針臺一起使用,如六軸定位器、RF線纜等;達行業(yè)的諸多系統(tǒng)運行參數(shù)、功能和特點,可滿足您不同的測試需求,同時也是更多行業(yè)客戶理想選擇的一款半自動探針臺設(shè)備。

 

 

 

 

 

 

 


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