C12高低溫探針臺(tái)
產(chǎn)品概要
C12高低溫探針臺(tái)具有優(yōu)異的機(jī)械系統(tǒng)，結(jié)構(gòu)性能穩(wěn)定，人體工程學(xué)設(shè)計(jì)，操作便捷，支持多功能升級(jí)，功能豐富全面。該產(chǎn)品主要應(yīng)用于集成電路，LED，LCD，太陽(yáng)能電池，半導(dǎo)體行業(yè)的制造和研究領(lǐng)域。
基本信息
| 產(chǎn)品型號(hào) | C12 | 工作環(huán)境 | 高低溫環(huán)境 |
| 電力需求 | 220VC,50~60Hz | 操控方式 | 手動(dòng) |
| 產(chǎn)品尺寸 | 1400mm*920mm*920mm | 設(shè)備重量 | 150KG/170KG/250KG |
應(yīng)用方向
高低溫環(huán)境下，LD/LED/PD測(cè)試，PCB/封裝器件測(cè)試，材料/器件的IV/CV特性測(cè)試、0.2微米以上芯片內(nèi)部線路/電極/PAD測(cè)試、高頻、射頻測(cè)試等
| 規(guī)格 | SC-6 | SC-8 | SC-12 |
| 外形 | 860mm*850mm*700mm | 880mm*860mm*750mm | 1400mm*920mm*920mm |
| 重量 | 150公斤 | 約170公斤 | 約250公斤 |
| 電力需求 | 220VC,50~60Hz |
| 樣品臺(tái) | 尺寸 | 6英寸，可360度旋轉(zhuǎn) | 8英寸，可360度旋轉(zhuǎn) | 12英寸，可360度旋轉(zhuǎn) |
| 行程 | X-Y行程6*6英寸 | X-Y行程8*8英寸 | X-Y行程12英寸*12英寸 |
| 移動(dòng)精度 | 1um |
| 切換樣品功能 | 樣品臺(tái)快速拉出 |
| 樣品固定方式 | 真空吸附 |
| 電學(xué)運(yùn)用 | 電學(xué)獨(dú)立懸空，可作為背電極使用 |
| 針座平臺(tái) | 規(guī)格 | O型平臺(tái)，最多可放置8個(gè)針座 | O型平臺(tái)，最多可放置10個(gè)針座 | O型平臺(tái)，最多可放置12個(gè)針座 |
| 行程&調(diào)節(jié)方式 | 平臺(tái)可以快速升降，行程 6mm并帶自動(dòng)鎖定功能;可以上下微調(diào)，行程25mm，升降精度1um |
| 溫控特性 | 溫度范圍 | ﹣100~200℃ | ﹣80~200℃ | ﹣60~200℃ |
| 溫控精度 | 溫度分辨率 ： 0.01°C |
| 加熱電源 | LVDC 低壓直流 |
| 控溫速率 | ±0.1°C /小時(shí) |
| 制冷方式 | 液氮制冷 |
| 光學(xué)特性 | 顯微鏡行程 | X-Y軸行程2英寸*2英寸，Z軸：50.8mm |
| 切換鏡頭方式 | 顯微鏡氣動(dòng)升降 |
| 放大倍數(shù) | 16~100X/20~4000X |
| 鏡頭規(guī)格 | 目鏡：10X；物鏡：5X,10X,20X,50X,100X（選配） |
| CCD像素 | 50W（模擬）/200W（數(shù)字）/500W（數(shù)字） |
| 點(diǎn)針規(guī)格 | X-Y-Z行程 | 12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm |
| 機(jī)械精度 | 10微米/2微米/0.7微米/0.1微米 |
| 漏電精度 | 10pA/100fA（配置屏蔽箱時(shí)） |
| 接口形式 | 香蕉頭/鱷魚(yú)夾/同軸/叁軸/SMA/K接口 |
| 應(yīng)用方向 | 高低溫環(huán)境下，LD/LED/PD測(cè)試，PCB/封裝器件測(cè)試，射頻測(cè)試等。 |
| 可選附件 | 探針卡夾具 | 防震臺(tái) | 低電流/電容測(cè)試 |
| 顯微鏡暗場(chǎng)/DIC/Normarski 檢測(cè)光強(qiáng)/波長(zhǎng)測(cè)試接口部件 | 鍍金卡盤 | 光纖夾具耦合測(cè)試選件 |
| 同軸叁軸卡盤 | 封裝器件夾具 |
| 射頻測(cè)試附件 | 光強(qiáng)/光譜/波長(zhǎng)測(cè)試選件 | PCB/封裝夾具測(cè)試選件 |
| 高壓/大電流測(cè)試套裝 | 有源探頭 | 特殊定制 |
| 屏蔽箱 | 轉(zhuǎn)接頭 | |
| 特點(diǎn) |
| 非真空環(huán)境下的低溫測(cè)試，可達(dá)-100℃ | 大手柄驅(qū)動(dòng)，操作舒適，無(wú)回程差設(shè)計(jì) |
| 兼容高倍率金相顯微鏡，可微調(diào)移動(dòng) | 0.2微米以上芯片內(nèi)部線路/電極/PAD測(cè)試 |
| 高等院校/研究所/公司實(shí)驗(yàn)室使用 | LD/LED/PD的光強(qiáng)/波長(zhǎng)測(cè)試 |
| 可用于12英寸以內(nèi)樣品測(cè)試 | 材料/器件的IV/CV特性測(cè)試 |
| 同軸絲杠傳動(dòng)結(jié)構(gòu)，線性移動(dòng) | 器件的高頻特性(支持至300GHz頻率) |
