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Anasys nanoIR3-s 納米掃描近場光學成像系統(tǒng)

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高性能的s-SNOM和AFM成像

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布魯克公司是從宏觀、亞微米到納米尺度紅外光譜(nanoIR)領域的世界。在納米尺度下的物理和化學性質等測量方面,我們致力于為聚合物、二維材料、材料科學、生命科學和微電子工業(yè)等多個領域提供創(chuàng)新的產(chǎn)品和解決方案。
Anasys 納米紅外光譜儀(nanoIR) 已被多所大學、國家實驗室和的化學/材料公司所采用。憑借高影響力和不斷增長的研究成果,通過廣大客戶的實際應用,納米紅外光譜儀表現(xiàn)出了良好的易用性和高效性。

性能的散射式 -SNOM 和 AFM 成像系統(tǒng)

nanoIR3-s系統(tǒng)將散射式近場光學顯微鏡(s-SNOM)和納米紅外光譜儀(AFM-IR)集成于一臺原子力顯微鏡(AFM)中,所有功能可在一個測量平臺上實現(xiàn)。nanoIR3-s系統(tǒng)建立在Anasys的既有技術之上,并在基于AFM的納米光學表征領域中具有地位,它提供了納米級的紅外光譜分析,化學成像和具有10 nm空間分辨率的光學特性成像功能。該系統(tǒng)還支持納米級分辨率的AFM形貌成像和材料物理性質成像功能,使其成為用于材料科學應用領域相關研究的理想選擇。


nanoIR3-s系統(tǒng)的主要特點:

  •  飛秒級寬波帶nano-FTIR光譜
  • 互補的s-SNOM和AFM-IR技術
  • 具有電學、力學和熱學測試模塊的全功能高分辨的AFM平臺


納米尺度下互補的成像技術

1)散射式近場光學顯微鏡(s-SNOM

s-SNOM 應用技術進行近場振幅和相位測量,測量過程中可以將探針定位在樣品上的固定位置,并改變光源的波長以提供近場光譜。s-SNOM 的點光譜成像是一項技術,由連續(xù)QCL激光器提供近場光譜、近場振幅和相位成像。

2)輕敲模式 AFM-IR

輕敲模式 AFM-IR 利用輕敲模式 AFM 作為傳感機構,測量樣品表面的光熱膨脹分布。具體來說,輕敲模式AFM-IR 可以利用輕敲模式下探針懸臂不同的諧振模式來測量光熱膨脹。輕敲模式AFM-IR可以在樣品上施加較低的 AFM 作用力,以實現(xiàn)更高的化學成像空間分辨率,對于不同種類的樣品,其分辨率可達10nm或更低。

3)共振增強型 AFM-IR

共振增強型 AFM-IR 技術是利用寬帶、脈沖、可調諧的中紅外激光器自上而下照射樣品實現(xiàn)的,脈沖激光被樣品選擇性地吸收,引起快速和瞬時的局部膨脹,并通過AFM 探針的機械偏轉來檢測,得到的紅外吸收光譜可與傅里葉紅外光譜(FTIR)直接對應解讀,并可根據(jù)現(xiàn)有的紅外光譜數(shù)據(jù)庫進行檢索。

4)力學性質成像,納米熱學分析和電學AFM模式

nanoIR3-s還可以提供以洛倫茲接觸共振技術(LCR)測量AFM懸臂梁的接觸共振頻率,從而繪制樣品的力學性質分布圖。nanoIR3-s 還可以通過納米熱學分析技術(nanoTA)在納米空間分辨率下定量測量樣品的熱熔點,同時對樣品微區(qū)進行熱性質成像(SThM)。此外,nanoIR3-s 還提供了表面電勢測量模塊(KPFM)和導電原子力測量模塊(CAFM)。

Modes

化學成像模式

輕敲模式AFM-IR; 快速光譜(AFM-IR);

快速成像 (AFM-IR); 全像素三維成像模

式;近場光學模式

AFM模式

 

標準工作模式:Contact; Tapping; Force

Curve; Lateral Force

可選工作模式: NanoTA; SThM; LCR;

CAFM; KPFM

主要可選激光器

POINTspectra

QCL Laser

6 or 4 chip continuous wave/pulsed with 950-1900cm-1 range for s-SNOM and AFM-IR

Single/Multiple

Chip QCL Laser

Single or multi-chip continuous wave/pulsed with different spectral ranges for s-SNOM

CO2 Laser  

For use with s-SNOM

Visible 632.8 nm

HeNe Laser

10 mw and optics package for

integration into nanoIR3-s

1550 nm NIR Diode Laser

5 mw and optics package for integration into nanoIR3-s

AFM 主要技術參數(shù)

Z方向噪音水平  

<75pm RMS

XY 掃描范圍

 50 μm x 50 μm

Z 掃描范圍  

>6 μm

掃描分辨率

 ≤1024 x 1024 pixels

XY 移動樣品臺  

Flexure with capacitive closed-loop sensing

針定位準確性   

±10 nm

樣品尺寸和移動范圍

樣品尺寸

<25 mm dia max

樣品高度

<10 mm max

樣品臺移動尺寸(XY)

8 x 8 mm motorized

樣品臺移動尺寸(Z)

>5 mm motorized

光學顯微鏡參數(shù)

照明模式

 光照明場

CCD 分辨率

1.5 μm 5MP

數(shù)字放大

3X

物鏡

10X

可視場范圍

 ~900 x 600 μm max;

~450 x 300 μm min

 


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