HORIBA Smart SE智能型多功能橢偏儀

儀器介紹：

Smart SE智能型多功能橢偏儀是一款針對(duì)單層和多層薄膜進(jìn)行簡(jiǎn)單，快速，精確表征和分析的工具。

多功能性設(shè)計(jì)，配置靈活，具備多角度測(cè)量能力，可方便實(shí)現(xiàn)在線與離線配置切換。

技術(shù)參數(shù)：

• 光譜范圍：450-1000nm

• 多種微光斑自動(dòng)選擇

• 光斑可視技術(shù)，可觀測(cè)任何樣品表面

• CCD探測(cè)器

• 自動(dòng)樣品臺(tái)尺寸：200mmX200mm；XYZ方向

• 自動(dòng)調(diào)節(jié); Z軸高度>35mm

主要特點(diǎn)：

• 一鍵式操作，直接報(bào)告輸出

• 液晶調(diào)制技術(shù)，測(cè)量光路中無(wú)運(yùn)動(dòng)部件

• CCD 探測(cè)系統(tǒng)，快速全譜輸出

• 多個(gè)微光斑尺寸選擇，可視技術(shù)

• 多角度測(cè)量

• 可實(shí)現(xiàn)在線測(cè)量配置