R54電阻率測量儀

高級薄膜電阻率測繪系統(tǒng)

Filmetrics R54是KLA薄膜電阻和導(dǎo)電率測繪系統(tǒng)的創(chuàng)新。R54是代表了KLA超過45年的電阻測量技術(shù)地位的之作。自從1975年我們臺(tái)電阻率測試儀問世以來，KLA公司系列產(chǎn)品已經(jīng)了導(dǎo)電薄膜得薄膜電阻和厚度的測量方式。

從半導(dǎo)體制造到實(shí)現(xiàn)可穿戴技術(shù)所需的柔性電子產(chǎn)品，薄膜電阻監(jiān)控對于任何使用導(dǎo)電薄膜的行業(yè)都至關(guān)重要。R54在功能上針對金屬薄膜均勻性測繪、離子注入表征和退火特性、薄膜厚度和電阻率測量以及非接觸式薄膜厚度測量進(jìn)行了優(yōu)化。

系統(tǒng)優(yōu)勢

• 測試點(diǎn)自定義編輯,包括矩形、線性、極坐標(biāo)以及自定義配置

• 可選最多可容納300毫米圓形或A4（210mm*297mm）樣品

• 導(dǎo)體和半導(dǎo)體薄膜電阻，10個(gè)數(shù)量級范圍適用

• 接觸式四點(diǎn)探針(4PP)和非接觸式電渦流(EC)配置

• 封閉系統(tǒng)便于測量光敏或者環(huán)境敏感樣品

• 15mm 樣品高度

• 高精度 X-Y 平臺(tái)

• 業(yè)內(nèi)最小的 EC 探頭尺寸

應(yīng)用市場

• 半導(dǎo)體

• 封裝

• 平板和VR顯示

• 穿戴設(shè)備

• 化合物半導(dǎo)體

• 太陽能

• 印刷電路

• 導(dǎo)電材料

R54規(guī)格參數(shù)

R54應(yīng)用

RsMapper軟件:

測量自動(dòng)化地圖模式生成器，內(nèi)置的地圖模式生成器使您輕松生成需要測量的斑點(diǎn)圖案樣品的相關(guān)區(qū)域，從而節(jié)省了數(shù)據(jù)采集期間的時(shí)間。

這只是您可以使用的一些參數(shù)。

進(jìn)行調(diào)整以自定義地圖的屬性:

• 圓形或正方形地圖

• 徑向或矩形圖案

• 中心或邊緣排除

• 點(diǎn)密度