分辨率（Resolution） | 15nm (30kV, SE Image) |
20nm (30kV, BSE Image) |
放大倍率（Magnification） | 30x~60,000x |
加速電壓（Accelerating Voltage） | 5kV to 30kV (5Kv/10Kv/15kV/20kV/30Kv-5 step) |
圖像檢測(cè) （Signal Detection）` | 二次電子圖像-(SEI)-Secondary Electron Image |
背散射電子圖像 (BSEI)-Backscattered Electron Image |
* Multi Detector (SEI+BSEI) |
觀察模式 Observation mode | Standard Mode |
Charge-up reduction mode |
電子槍系統(tǒng)（Electron Gun） |
燈絲類(lèi)型（Filament type） | 預(yù)對(duì)中鎢燈絲（Pre Centered tungsten filament Cartridge） |
偏壓系統(tǒng)（Bias voltage system） | 自動(dòng)偏壓方式（Automatic mode） |
電子槍校正 （Electron gun alignment） | 手動(dòng)方式（Manual mode） |
透鏡構(gòu)成（Lens system） |
聚光鏡（Focus Lens） | 2段式磁線圈透鏡 (2-stage Electromagnetic Condenser Lens) |
物鏡（Objective Lens） | 1段式磁線圈透鏡(1-stage Electromagnetic Objective Lens) |
探測(cè)器類(lèi)型(Detector type) | SE Detector/ BSE Detector |
載物臺(tái)系統(tǒng)( Stage System) | Auto or Mauanl |
載物臺(tái)移動(dòng)（Stage Traverse） | 3軸操控3 axis System， X, Y-axis : 35mm / R-axis : 360° |
Image shift | Image shift X, Y Image Shift (±150um) |
樣品尺寸 （Max Sample size） | 高度30mm時(shí)直徑70mm，70mm in diameter, 30mm in height |
圖像掃描 （Image Scanning system） | 快速描 (Fast Scan): 320x240 (Scan time: 0.1 sec.) |
低速描 (Slow Scan): 640x480 (Scan time: 3 sec.) |
圖片模式1(Photo Mode 1): 1280x960 (Scan time: 30sec.) |
圖片模式2(Photo Mode 2): 2560x1920 (Scan time: 60sec.) 3(Photo Mode 2): 5120x3840 (Scan time: 120sec.) |
自動(dòng)功能 （Automatic Function） | 自動(dòng)啟動(dòng)(Auto start)，自動(dòng)聚焦(Auto focus)，自動(dòng)亮度對(duì)比度調(diào)節(jié)(Auto Brightness/Contrast) |
圖像存儲(chǔ)格式(Image format) | BMP, JPEG, PNG,TIFF |
數(shù)據(jù)顯示(Data display) | 放大倍率(Magnification)，探測(cè)器類(lèi)型(Detector type)，電壓(Accelerating Voltage)，真空模式(Vacuum mode)，Logo(Text)， Date and time，Text marker，比例尺(scale bar) 等 |
真空系統(tǒng)（Vacuum system） | 全自動(dòng)型/高真空模式+低真空模式(Fully Automatic Multi mode) （旋轉(zhuǎn)式機(jī)械泵）Rotary Pump/100Liters/min （渦輪式分子泵） Turbo Molecular Pump/ 70Liters/sec 抽真空時(shí)間(pump down time)：2分鐘以內(nèi) (less than 2 minutes) |
操控系統(tǒng)(Control unit system) | 鼠標(biāo)和鍵盤(pán)(Mouse ,Keyboard) |
|
PC：臺(tái)式電腦（Desk Top） OS : Microsoft Window 7
CPU : Intel CoreTM i5 or High version Memory / HDD : 4GB / 500GB or High version USB 2.0 |
軟件（Software function） | 圖像文件打開(kāi)，編輯，存儲(chǔ)功能(Image file open, edit, Save function) 長(zhǎng)度，面積，角度等測(cè)量功能(Length, area, angle measuring)
設(shè)置數(shù)值初始化(parameter initialization)，圖像拍攝模式轉(zhuǎn)換(Image capture mode conversion)，Archives, Setting(EDS)模 式等 |
體積（ Volume） | 設(shè)備主機(jī)（Main Unit）-410(W)×660(D)× 600(H)mm……1set
外置真空泵(External vacuum pump)-400(W)×160(D)×340(H)mm …1set 根據(jù)客戶實(shí)際情況使用Anti vabration Table |
重量 （Weight） | 105kg |
設(shè)備環(huán)境 （Equipment environment） | 溫度(Temperature)：15℃~30℃
濕度(Humidity)：70% or less 電源(Power source)： Single phase 100~240V AC, 1KW, 50/60Hz |
