用途：
測(cè)量型金相顯微鏡是一種兼顧影像與目視兩用的高精度、高效率測(cè)量?jī)x器。它具有電視成像與目視光學(xué)兩套瞄準(zhǔn)系統(tǒng)，是集光、機(jī)、電、算、影像于一體的測(cè)量型金相顯微鏡。該儀器廣泛用于電子組件、精密模具、精密刀具、塑料、PCB加工等方面，不僅可用作坐標(biāo)測(cè)量，還可以目鏡標(biāo)準(zhǔn)分劃板作顯微放大比較測(cè)量，測(cè)量螺紋的節(jié)距、外徑、牙角等工件尺寸或外形輪廓，ACF導(dǎo)電粒子形狀和瑕疵觀察，除應(yīng)用于長(zhǎng)度、角度測(cè)量外，還可作為觀察顯微鏡。是機(jī)械、電子、儀表、鐘表、輕工、塑料行業(yè)，院校、研究所和計(jì)量檢定部門的計(jì)量室、實(shí)驗(yàn)室已經(jīng)生產(chǎn)車間的計(jì)量檢測(cè)設(shè)備之一。
特點(diǎn)：
1. 符合人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì)準(zhǔn)則方便操作測(cè)量
2. 工作臺(tái)一鍵式氣動(dòng)單手快速移動(dòng)操作
3. 可實(shí)現(xiàn)Z軸自動(dòng)對(duì)焦
4. 具有偏光和DIC檢測(cè)功能
5. 采用被動(dòng)式減震裝置，提高整機(jī)精度穩(wěn)定性
6. 自主開發(fā)QMS3D-M軟件，高清晰進(jìn)口1/2"彩色攝像機(jī)
7. 可通過激光指示器尋找被測(cè)工件的具體位置，可適應(yīng)復(fù)雜工件的測(cè)量
8. 可實(shí)現(xiàn)高度輔助測(cè)量
9. Z軸光柵尺分辨力為0.1μm
10. 同軸光/底光測(cè)量
11. 可搭配白光納米檢測(cè)模塊測(cè)量納米級(jí)厚度
技術(shù)規(guī)格參數(shù)：型號(hào) | MTM-5040M |
工作臺(tái) | 金屬臺(tái)尺寸(mm) | 786 x 636 |
玻璃臺(tái)尺寸(mm) | 570 x 470 |
X、Y軸運(yùn)動(dòng)行程(mm) | 500 x 400 |
Z軸行程(mm) | 200 |
外形尺寸(mm) | 1270 x 1150 x 1860 |
儀器重量(kg) | 850 |
X、Y、Z軸光柵尺分辨力(μm) | 0.5 |
示值誤差(μm) | E1XY=( 2.5+ L/75) μm (L為測(cè)量長(zhǎng)度，單位mm) |
物鏡放大倍數(shù)誤差 | 包括畸變?cè)趦?nèi)的放大率誤差≦0.08% |
落射照明光源 | 可調(diào)高亮度鹵素?zé)?/div> |
底光照明光源 | 可調(diào)高亮度LED燈源 |
| 目視系統(tǒng) | 影像系統(tǒng) |
物鏡放大倍數(shù) | 5X、10X、20X、50X | 5X、10X、20X、50X；10X Mirau物鏡 |
目鏡放大倍數(shù) | 10X雙鏡筒 | 1/2”CCD攝像機(jī) |
視頻總倍率 | 50X ~500X | 142.5X ~1425X (19.5”顯示器，分辨率1440 x 900) |
