IRA 3 GMU/GMH是TESCAN推出的場發(fā)射掃描電子顯微鏡系列中樣品室zui大的一款,以高品質(zhì),*計(jì)算機(jī)控制,用戶友好界面為基礎(chǔ)的系列產(chǎn)品.具有很多用戶使用方便,產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定,分析高效為特點(diǎn)的*設(shè)計(jì)。
IRA 3 GMU/GMH是TESCAN推出的場發(fā)射掃描電子顯微鏡系列中樣品室zui大的一款,以高品質(zhì),*計(jì)算機(jī)控制,用戶友好界面為基礎(chǔ)的系列產(chǎn)品.具有很多用戶使用方便,產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定,分析高效為特點(diǎn)的*設(shè)計(jì)。
技術(shù)參數(shù)：
1. 分辨率:高真空(二次電子)1.0nm at 30kV
(背散射電子): 2.0 nm at 30 kV
低真空(低真空二次電子)﹕1.5 nm at 30 kV
2.放大倍數(shù):1 to 1000000x
3.真空系統(tǒng):電子槍真空<3*10 -7Pa
樣品室/低真空7-500Pa
4.加速電壓0.2kV to 30Kv
5.電子束電流2pA—200nA
6.內(nèi)部直徑: 340mm
接口數(shù): 20+
7.樣品臺(tái)行程:（5軸馬達(dá)控制）
X=130mm——馬達(dá)控制
Y=130mm——馬達(dá)控制
Z=100mm——馬達(dá)控制
R=360°連續(xù)--馬達(dá)控制
T=-80°至+90°--馬達(dá)控制
zui大樣品高度145mm.
主要特點(diǎn)：
國內(nèi)使用中文操作界面的電鏡廠商
1.電磁式電子槍自動(dòng)對(duì)中;
2.可以提供五種觀察影像模式:分辨率模式;景深模式;視野模式;大視野模式,channeling模式，可以非常方便尋找樣品位置;
3.*的低真空二次電子探測器(LVSTD).
4.紅外線樣品室內(nèi)攝像裝置,可以在測量同時(shí)觀測樣品;
5.真空系統(tǒng)采用一臺(tái)機(jī)械泵和一臺(tái)分子泵，電子槍部分使用離子泵，抽真空速度快,在更換樣品后,三分鐘內(nèi)就可達(dá)到待測狀態(tài);并且不需要使用冷卻水冷卻。
6.采用內(nèi)置的主動(dòng)式電磁減震系統(tǒng)，大大減少了對(duì)環(huán)境的要求。
7.*的軟件系統(tǒng),在數(shù)據(jù)儲(chǔ)存數(shù)據(jù)記錄數(shù)據(jù)打印等方面具有多種創(chuàng)新功能.
8.20個(gè)以上外擴(kuò)展接口，可安裝更多的附件
9.可進(jìn)行遠(yuǎn)程控制
