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原位XPS測試（X射線光電子能譜儀）

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設備介紹EscaLab250XiX射線光電子能譜儀是一臺多功能高性能的表面分析儀器，它可以用于研究各種固體材料樣品表面（1-10nm厚度）的元素種類、化學價態(tài)以及相對含量

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設備介紹

EscaLab 250Xi X射線光電子能譜儀是一臺多功能高性能的表面分析儀器，它可以用于研究各種固體材料樣品表面（1-10nm厚度）的元素種類、化學價態(tài)以及相對含量。結合離子刻蝕技術還可以獲得元素及化學態(tài)深度分布信息；通過成像技術可以獲得元素及化學態(tài)的面分布信息；利用微聚焦X射線源或電子束可以獲得微區(qū)表面信息。

儀器型號

EscaLab 250Xi

技術參數(shù)

  • 檢測器譜分析探測器為6通道電子倍增器陣列。
  • 離子槍離子能量從100eV至4keV，能量3keV時離子束流大于6 μA，束流2.5 μA 和能量 4 keV時最小束斑200μm。
  • 樣品臺移動范圍X方向50mm，Y方向20mm，分辨1 μm
  • 光學系統(tǒng)的視場范圍300 μm至 ~2.5 mm

案例展示

    應用范圍

    EscaLab 250Xi X射線光電子能譜儀在金屬、玻璃、高分子、半導體、納米材料、生物材料以及催化等領域有廣泛應用。


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