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靶材與背板結合強度試驗機

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在當今及以后的光伏和半導體制造流程當中,靶材無疑是重中之重的原材料,其質量和純度對半導體產業(yè)鏈的后續(xù)生產質量起著關鍵性作用,而靶材與背板的結合強度是其中重要的一環(huán),新國標GB/T39163-2020  靶材與背板結合強度測試方法規(guī)定了靶材與背板的結合強度試驗方法,該試驗分為拉伸試驗和剪切試驗,方法如下
主要技術指標
型號 JD3380
試驗力KN 100
試驗機精度 1級
試驗力測力范圍 0.4%—99%F.S
試驗力分辨率 1/300000全程不分檔,全程分辨率不變
試驗速度 0-300mm/min
拉伸試驗行程mm 650
試驗寬度mm 400
位移分辨率mm 0.01
電源電壓 交流220V  50Hz
主機尺寸mm 780×650×1950mm
主機重量kg 400


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