VEGA 3 LMU/LMH是TESCAN推出的掃描電子顯微鏡系列,以高品質(zhì),*計(jì)算機(jī)控制,用戶友好界面為基礎(chǔ)的系列產(chǎn)品.具有使用方便,產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定,分析高效為特點(diǎn)的*設(shè)計(jì).

VEGA 3 LMU/LMH是TESCAN推出的掃描電子顯微鏡系列,以高品質(zhì),*計(jì)算機(jī)控制,用戶友好界面為基礎(chǔ)的系列產(chǎn)品.具有使用方便,產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定,分析高效為特點(diǎn)的*設(shè)計(jì).
1.*的四透鏡大視野光學(xué)（Wide Field Optics™）設(shè)計(jì)，該設(shè)計(jì)提供了多種工作模式和顯示模式，體現(xiàn)了Tescan*可優(yōu)化電子束光闌的中間鏡設(shè)計(jì)。
2.成像速度快。
3.鏡筒內(nèi)沒(méi)有需要機(jī)械對(duì)中結(jié)構(gòu)，取而代之的是容易操作和保養(yǎng)的固定光闌和內(nèi)襯管設(shè)計(jì)。
4.以電磁的方式改變有效物鏡光闌，中間鏡起到光闌轉(zhuǎn)換器的作用。
5.高吞吐量/自動(dòng)取域。例：自動(dòng)顆粒定點(diǎn)分析。
6.出眾的電動(dòng)載臺(tái)設(shè)計(jì)，支持能譜儀（EDX），波譜儀（WDX），背散射電子衍射儀（EBSD）。
7.由于使用了強(qiáng)力的渦淪分子泵和機(jī)械真空泵，因而可以快速簡(jiǎn)單得到干凈的真空樣品室。
8.完善的顯微鏡自動(dòng)設(shè)置包括電子光路設(shè)置和對(duì)中。
9.網(wǎng)絡(luò)操作和內(nèi)置的遠(yuǎn)程監(jiān)控/診斷是Tescan的標(biāo)準(zhǔn)配備。
10.強(qiáng)大的自動(dòng)功能
11.*自動(dòng)的軟件安裝 
12.強(qiáng)大的圖象處理功能,使用專業(yè)的電鏡控制軟件,圖像抓取,加工,處理和分析;
I.影像顯示尺寸
1)實(shí)時(shí)圖像顯示尺寸：共有3種方式。
2)儲(chǔ)存圖像顯示尺寸：共有9種方式。
3)同時(shí)可選擇正方形、4x3長(zhǎng)方形、2x1長(zhǎng)方形等3種尺寸。
4)可同時(shí)顯示任意張實(shí)時(shí)影像或儲(chǔ)存影像。
II.掃描速度：從20ns/圖素到10ms/圖素，可階級(jí)式或連續(xù)式的調(diào)整。
III.聚焦窗口：可連續(xù)式調(diào)整聚焦窗口的大小和位置。
IV.動(dòng)態(tài)聚焦,點(diǎn)&線掃描
V. 圖像處理(Image processing)：提供15種圖像處理功能。
VI.量測(cè)功能：提供13種圖像量測(cè)的功能
VII.圖像存盤：
1).瀏覽已儲(chǔ)存圖像的相本。
2).找尋已儲(chǔ)存圖像的數(shù)據(jù)庫(kù)系統(tǒng)。
3).報(bào)告產(chǎn)生及從程序中直接打印。
4).實(shí)時(shí)或儲(chǔ)存的圖像均可處理。
13.的分析品質(zhì);
 

主要特點(diǎn)：

國(guó)內(nèi)使用中文操作界面的電鏡廠商
1.電磁式電子槍自動(dòng)對(duì)中; 
2.可以提供五種觀察影像模式:分辨率模式;景深模式,視野模式;大視野模式,Channeling模式，很方便尋找樣品位置;
3.紅外線樣品室內(nèi)攝像裝置,可以在測(cè)量同時(shí)觀測(cè)樣品;
4.真空系統(tǒng)采用一臺(tái)機(jī)械泵和一臺(tái)分子泵,抽真空速度快,在更換樣品后,三分鐘就可達(dá)到待測(cè)狀態(tài);并且不需要使用冷卻水冷卻.
5.采用氣墊減震系統(tǒng)
6.*的軟件系統(tǒng),在數(shù)據(jù)儲(chǔ)存數(shù)據(jù)記錄數(shù)據(jù)打印等方面具有多種創(chuàng)新功能.
7.11個(gè)外擴(kuò)展接口.
8.可對(duì)SEM進(jìn)行遠(yuǎn)程控制