VEGA 3 SBU/SBH適用于對于觀察芯片、高分子材料、粉末等所有體積小，重量較輕的樣品觀察。該機型分辨率不遜色于同一系列其他機型，且對環(huán)境要求較低，性價比非常高。如果您在尋找低價位，高性能的掃描電子顯微鏡，不妨考慮此型號。
1.*的四透鏡大視野光學(xué)（Wide Field Optics™）和Tescan*可優(yōu)化電子束光闌的中間鏡設(shè)計，提供了多種工作模式和顯示模式。
2.成像速度快。
3.鏡筒內(nèi)沒有需要機械對中結(jié)構(gòu)，取而代之的是容易操作和保養(yǎng)的固定光闌。
4.以電磁的方式改變有效物鏡光闌——中間鏡起到“光闌轉(zhuǎn)換器”的作用。
5.高吞吐量/自動取域。例：自動顆粒定點分析。
6.出眾的電動載臺設(shè)計，支持能譜儀（EDX），波譜儀（WDX），背散射電子衍射儀（EBSD）。
7.由于使用了強力的渦淪分子泵和機械真空泵，因而可以快速簡單得到干凈的真空樣品室。
8.完善的顯微鏡自動設(shè)置包括電子光路設(shè)置和對中。
9.網(wǎng)絡(luò)操作和內(nèi)置的遠程監(jiān)控/診斷是Tescan的標(biāo)準(zhǔn)配備。
10.強大的自動功能:全自動真空控制,燈絲自動加熱,自動電子槍校正 (Auto gun alignment),改變加速電壓，自動補償偏壓,改變電子束大小，
自動調(diào)整電子束大小,依據(jù)訊號/噪聲比自動調(diào)整掃描速度,自動對比/亮度調(diào)整,自動聚焦,自動調(diào)整像差等。
11.*自動的軟件安裝.
12.強大的圖象處理功能,使用專業(yè)的電鏡控制軟件,圖像抓取,加工,處理和分析;
I.影像顯示尺寸
1)實時圖像顯示尺寸：共有512x512, 768x768, 1024x1024等3種方式。
2)儲存圖像顯示尺寸：共有512x512, 768x768, 1024x1024, 1280x1280, 1536x1536, 2048x2048, 2560x2560, 4096x4096，8192x8192等9種方式。
3)同時可選擇正方形、4x3長方形、2x1長方形等3種尺寸。
4)可同時顯示任意張實時影像或儲存影像。
II.掃描速度：從20ns/圖素到10ms/圖素，可階級式或連續(xù)式的調(diào)整。
III.聚焦窗口：可連續(xù)式調(diào)整聚焦窗口的大小和位置。
IV.動態(tài)聚焦,點&線掃描
V. 圖像處理(Image processing)：提供銳化(Sharpening)﹐自動對比調(diào)整(Auto Contrast)﹐去噪聲
化(Noise Reduction)等15種圖像處理功能。
VI.量測功能：提供量測任意兩點的距離，量測任意夾角，不規(guī)則形狀的面積和周長，劃指示箭頭，寫說明文字等13種圖像量測的功能
VII.圖像存盤：
1).瀏覽已儲存圖像的相本。
2).找尋已儲存圖像的數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)。
3).報告產(chǎn)生及從程序中直接打印。
4).實時或儲存的圖像均可處理。
13.的分析品質(zhì);
1)選擇目標(biāo)區(qū)域：以灰階及彩色為起始點-針對選擇的區(qū)域著色及量測。
2)3D掃描：可通過各探頭的配合，顯示真實的三維圖象。
3)硬度分析：以Vickers式硬度或Brinell式硬度標(biāo)準(zhǔn)來測量分析樣品。
4)多圖片校正：可以校正其它電鏡拍攝的照片的放大倍數(shù)。
5)打印放大倍數(shù)：調(diào)整顯示屏以及打印輸出時放大倍數(shù)差異。
6)關(guān)機時間設(shè)定：可以設(shè)定*次自動關(guān)機時間。
7)公差
可選配軟件
8)形態(tài)學(xué)：該軟件可對樣品圖片進行自動分析，測量和分類。其圖片來源可以是顯微鏡，數(shù)碼相機等。
9)顆粒度分析：可以對多區(qū)域內(nèi)的樣品進行自動測量，分析和分類（不過分析樣品必須在掃描窗口內(nèi)）。該軟件結(jié)合形態(tài)學(xué)軟件使用，功能更加完善。
10)自動連續(xù)截圖
11)樣品觀測
12)鼠標(biāo)連接：安裝該軟件后，可以用SEM的鼠標(biāo)控制其他連接的設(shè)備
技術(shù)參數(shù)：
1.分辨率:高真空(二次電子)3.0nm at 30kv，8.0nm at 3kv
(背散射電子): 3.5 nm at 30 kV
低真空(低真空二次電子)﹕3.5 nm at 30 kV
2.放大倍數(shù):3 to 1000000×
3.真空系統(tǒng): 低真空3~2000Pa
4.加速電壓 0.2kV to 30kV
5.電子束電流 1pA~2uA
6.樣品室內(nèi)部直徑：160mm
7.樣品臺行程:
3軸馬達控制
X=45mm——馬達控制
Y=45mm——馬達控制
Z=27mm——手動控制
Z'=6mm——手動控制
R=360°連續(xù)馬達控制
T=-90°至 +90°手動
zui大樣品高度36mm.
主要特點：
國內(nèi)*一家已實現(xiàn)中文操作界面的電鏡廠商
1.電磁式電子槍自動對中;
2.可以提供五種觀察影像模式:分辨率模式;景深模式;視野模式;大視野模式,Channeling模式，非常方便尋找樣品位置;
3.紅外線樣品室內(nèi)攝像裝置,可以在測量同時觀測樣品;
4.真空系統(tǒng)采用一臺機械泵和一臺分子泵，抽真空速度快,在更換樣品后,三分鐘內(nèi)就可達到待測狀態(tài);并且不需要使用冷卻水冷卻.
5.*的軟件系統(tǒng),在數(shù)據(jù)儲存數(shù)據(jù)記錄數(shù)據(jù)打印等方面具有多種創(chuàng)新功能.
6.10個外擴展接口，可安裝更多的附件
7.*的遠程控制軟件
