VEGA 3 SBU/SBH適用于對(duì)于觀察芯片、高分子材料、粉末等所有體積小，重量較輕的樣品觀察。該機(jī)型分辨率不遜色于同一系列其他機(jī)型，且對(duì)環(huán)境要求較低，性價(jià)比非常高。如果您在尋找低價(jià)位，高性能的掃描電子顯微鏡，不妨考慮此型號(hào)。
1.*的四透鏡大視野光學(xué)（Wide Field Optics™）和Tescan*可優(yōu)化電子束光闌的中間鏡設(shè)計(jì)，提供了多種工作模式和顯示模式。
2.成像速度快。
3.鏡筒內(nèi)沒有需要機(jī)械對(duì)中結(jié)構(gòu)，取而代之的是容易操作和保養(yǎng)的固定光闌。
4.以電磁的方式改變有效物鏡光闌——中間鏡起到“光闌轉(zhuǎn)換器”的作用。
5.高吞吐量/自動(dòng)取域。例：自動(dòng)顆粒定點(diǎn)分析。
6.出眾的電動(dòng)載臺(tái)設(shè)計(jì)，支持能譜儀（EDX），波譜儀（WDX），背散射電子衍射儀（EBSD）。
7.由于使用了強(qiáng)力的渦淪分子泵和機(jī)械真空泵，因而可以快速簡單得到干凈的真空樣品室。
8.完善的顯微鏡自動(dòng)設(shè)置包括電子光路設(shè)置和對(duì)中。
9.網(wǎng)絡(luò)操作和內(nèi)置的遠(yuǎn)程監(jiān)控/診斷是Tescan的標(biāo)準(zhǔn)配備。
10.強(qiáng)大的自動(dòng)功能:全自動(dòng)真空控制,燈絲自動(dòng)加熱,自動(dòng)電子槍校正 (Auto gun alignment),改變加速電壓，自動(dòng)補(bǔ)償偏壓,改變電子束大小，
自動(dòng)調(diào)整電子束大小,依據(jù)訊號(hào)/噪聲比自動(dòng)調(diào)整掃描速度,自動(dòng)對(duì)比/亮度調(diào)整,自動(dòng)聚焦,自動(dòng)調(diào)整像差等。
11.*自動(dòng)的軟件安裝.
12.強(qiáng)大的圖象處理功能,使用專業(yè)的電鏡控制軟件,圖像抓取,加工,處理和分析;
I.影像顯示尺寸
1)實(shí)時(shí)圖像顯示尺寸：共有512x512, 768x768, 1024x1024等3種方式。
2)儲(chǔ)存圖像顯示尺寸：共有512x512, 768x768, 1024x1024, 1280x1280, 1536x1536, 2048x2048, 2560x2560, 4096x4096，8192x8192等9種方式。
3)同時(shí)可選擇正方形、4x3長方形、2x1長方形等3種尺寸。
4)可同時(shí)顯示任意張實(shí)時(shí)影像或儲(chǔ)存影像。
II.掃描速度：從20ns/圖素到10ms/圖素，可階級(jí)式或連續(xù)式的調(diào)整。
III.聚焦窗口：可連續(xù)式調(diào)整聚焦窗口的大小和位置。
IV.動(dòng)態(tài)聚焦,點(diǎn)&線掃描
V. 圖像處理(Image processing)：提供銳化(Sharpening)﹐自動(dòng)對(duì)比調(diào)整(Auto Contrast)﹐去噪聲
化(Noise Reduction)等15種圖像處理功能。
VI.量測功能：提供量測任意兩點(diǎn)的距離，量測任意夾角，不規(guī)則形狀的面積和周長，劃指示箭頭，寫說明文字等13種圖像量測的功能
VII.圖像存盤：
1).瀏覽已儲(chǔ)存圖像的相本。
2).找尋已儲(chǔ)存圖像的數(shù)據(jù)庫系統(tǒng)。
3).報(bào)告產(chǎn)生及從程序中直接打印。
4).實(shí)時(shí)或儲(chǔ)存的圖像均可處理。
13.的分析品質(zhì);
1)選擇目標(biāo)區(qū)域：以灰階及彩色為起始點(diǎn)-針對(duì)選擇的區(qū)域著色及量測。
2)3D掃描：可通過各探頭的配合，顯示真實(shí)的三維圖象。
3)硬度分析：以Vickers式硬度或Brinell式硬度標(biāo)準(zhǔn)來測量分析樣品。
4)多圖片校正：可以校正其它電鏡拍攝的照片的放大倍數(shù)。
5)打印放大倍數(shù)：調(diào)整顯示屏以及打印輸出時(shí)放大倍數(shù)差異。
6)關(guān)機(jī)時(shí)間設(shè)定：可以設(shè)定*次自動(dòng)關(guān)機(jī)時(shí)間。
7)公差
可選配軟件
8)形態(tài)學(xué)：該軟件可對(duì)樣品圖片進(jìn)行自動(dòng)分析，測量和分類。其圖片來源可以是顯微鏡，數(shù)碼相機(jī)等。
9)顆粒度分析：可以對(duì)多區(qū)域內(nèi)的樣品進(jìn)行自動(dòng)測量，分析和分類（不過分析樣品必須在掃描窗口內(nèi)）。該軟件結(jié)合形態(tài)學(xué)軟件使用，功能更加完善。
10)自動(dòng)連續(xù)截圖
11)樣品觀測
12)鼠標(biāo)連接：安裝該軟件后，可以用SEM的鼠標(biāo)控制其他連接的設(shè)備
技術(shù)參數(shù)：
1.分辨率:高真空(二次電子)3.0nm at 30kv，8.0nm at 3kv
(背散射電子): 3.5 nm at 30 kV
低真空(低真空二次電子)﹕3.5 nm at 30 kV
2.放大倍數(shù):3 to 1000000×
3.真空系統(tǒng): 低真空3~2000Pa
4.加速電壓 0.2kV to 30kV
5.電子束電流 1pA~2uA
6.樣品室內(nèi)部直徑：160mm
7.樣品臺(tái)行程:
3軸馬達(dá)控制
X=45mm——馬達(dá)控制
Y=45mm——馬達(dá)控制
Z=27mm——手動(dòng)控制
Z'=6mm——手動(dòng)控制
R=360°連續(xù)馬達(dá)控制
T=-90°至 +90°手動(dòng)
zui大樣品高度36mm.
主要特點(diǎn)：
國內(nèi)*一家已實(shí)現(xiàn)中文操作界面的電鏡廠商
1.電磁式電子槍自動(dòng)對(duì)中;
2.可以提供五種觀察影像模式:分辨率模式;景深模式;視野模式;大視野模式,Channeling模式，非常方便尋找樣品位置;
3.紅外線樣品室內(nèi)攝像裝置,可以在測量同時(shí)觀測樣品;
4.真空系統(tǒng)采用一臺(tái)機(jī)械泵和一臺(tái)分子泵，抽真空速度快,在更換樣品后,三分鐘內(nèi)就可達(dá)到待測狀態(tài);并且不需要使用冷卻水冷卻.
5.*的軟件系統(tǒng),在數(shù)據(jù)儲(chǔ)存數(shù)據(jù)記錄數(shù)據(jù)打印等方面具有多種創(chuàng)新功能.
6.10個(gè)外擴(kuò)展接口，可安裝更多的附件
7.*的遠(yuǎn)程控制軟件
