潔凈室
半導(dǎo)體生產(chǎn)和晶圓檢測(cè)需要在潔凈室內(nèi)進(jìn)行。根據(jù)DIN EN ISO 14644-1標(biāo)準(zhǔn),以每立方米的顆粒數(shù)量和大小將潔凈室劃分成不同等級(jí)。Axio Imager Vario已通過(guò)此標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證,并滿足5級(jí)潔凈室的應(yīng)用要求。ISO 5級(jí)潔凈室相當(dāng)于原先標(biāo)準(zhǔn)FED STD 209E(1992)的100級(jí)。潔凈室套件中包含一個(gè)7x物鏡轉(zhuǎn)盤(pán)、一個(gè)顆粒保護(hù)罩和防噴嚏保護(hù)罩。
具有兩種手動(dòng)機(jī)柱和一種電動(dòng)機(jī)柱(配有符合工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的三個(gè)模式控制按鈕)可供選擇,充分利用顯微鏡的橫向樣品空間300 mm x 300 mm和樣品高度254 mm的優(yōu)勢(shì)。
Axio Imager Vario能通過(guò)物鏡轉(zhuǎn)盤(pán)的上下移動(dòng)來(lái)聚焦樣品。這意味著即便是較重的樣品,依然可以獲得高聚焦精度和可重復(fù)性。
借助硬件自動(dòng)對(duì)焦功能,可以精準(zhǔn)快速地聚焦低對(duì)比度的反射樣品。
將Axio Imager Vario與LSM 900結(jié)合使用,能夠以高分辨率無(wú)接觸地分析敏感樣品
Axio Imager Vario已通過(guò)DIN EN ISO 14644-1認(rèn)證,并滿足5級(jí)潔凈室的應(yīng)用要求。