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超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡Regulus系列

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 深圳市汐品科技有限公司
  • 品牌
  • 型號
  • 所在地 深圳市
  • 廠商性質(zhì) 其他
  • 更新時(shí)間 2024/7/16 14:29:03
  • 訪問次數(shù) 77

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沿用"SU8200系列"的冷場發(fā)射電子槍*2采用電子束在Flashing后出現(xiàn)的高亮度穩(wěn)定區(qū)域作為穩(wěn)定觀察的區(qū)間,使得低加速電壓條件下兼?zhèn)涓叻直嬗^察和分析的性能(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)采用污染小、高真空樣品倉運(yùn)用能量過濾器(選配),可觀察到多種成分對比度*2極低著陸電壓下高分辨觀察樣品:金顆粒著陸電壓:10 V

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概述
產(chǎn)品參數(shù)
  • 沿用"SU8200系列"的冷場發(fā)射電子槍*2

  • 采用電子束在Flashing后出現(xiàn)的高亮度穩(wěn)定區(qū)域作為穩(wěn)定觀察的區(qū)間,使得低加速電壓條件下兼?zhèn)涓叻直嬗^察和分析的性能
    (Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)

  • 采用污染小、高真空樣品倉

  • 運(yùn)用能量過濾器(選配),可觀察到多種成分對比度*2

極低著陸電壓下高分辨觀察

極低著陸電壓下高分辨觀察
樣品:金顆粒
著陸電壓:10 V

超高分辨觀察

超高分辨觀察
樣品:Pt催化劑
加速電壓:30 kV

低加速電壓下高分辨EDX分析

低加速電壓下高分辨EDX分析
樣品:Sn球
著陸電壓:1.5 kV

  • *2

  • Regulus8240/8230/8220


產(chǎn)品參數(shù)
項(xiàng)目內(nèi)容
圖像分辨率二次電子分辨率0.8 nm/15 kV
0.9 nm/1 kV
放大倍率20~2,000,000 x
電子槍發(fā)射體ZrO/W熱場發(fā)射(肖特基熱場發(fā)射)
加速電壓0.1~30 kV (步進(jìn):0.01 kV)
束流200 nA
探測器標(biāo)準(zhǔn)探測器UD (上探測器)
MD (中探測器)
LD (下探測器)
選配探測器*1PD-BSED (半導(dǎo)體式背散射電子探測器)
UVD(高靈敏度低真空探測器 )
低真空模式*1樣品倉壓力范圍5~300 Pa
可使用探測器PD-BSED, UVD, UD, MD, LD
馬達(dá)臺馬達(dá)臺控制5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)
移動(dòng)范圍X0~135 mm
Y0~100 mm
Z(WD)1.5~40 mm
T(傾斜角)-5~70°
R(旋轉(zhuǎn)角)360°
樣品尺寸直徑:φ200 mm, 高度:80 mm
顯示器*123英寸LCD (1,920×1,080), 支持雙屏
圖像顯示模式全屏顯示模式1,280×960像素顯示
單屏顯示模式800×600像素顯示
雙屏顯示模式800×600像素顯示、1,280×960像素顯示 *2
四屏顯示模式640×480像素顯示
六屏顯示模式*2640×480像素顯示 *2
圖像數(shù)據(jù)保存保存圖像尺寸640×480、1,280×960、2,560×1,920、5,120×3,840、10,240×7,680
選配附件能譜儀(EDX)
X射線波譜儀(WDX)
電子背散射衍射(EBSD)
陰極熒光探測器(CL)
冷凍傳輸系統(tǒng)
各種功能樣品臺
  • *1

  • 為選配項(xiàng)。

  • *2

  • 支持雙屏顯示。



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