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超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡Regulus系列

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公司名稱 深圳市汐品科技有限公司
品牌
型號
所在地 深圳市
廠商性質(zhì) 其他
更新時間 2024/7/16 14:29:03
訪問次數(shù) 114

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2020年01月08日至 2020年02月08日

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模內(nèi)澆口分離自動化，降低對人的依賴度；傳統(tǒng)的塑膠模具開模后產(chǎn)品與澆口相連，需二道工序進(jìn)行人工剪切分離，模內(nèi)熱切模具將澆口分離提前至開模前，消除后續(xù)工序，有利于生產(chǎn)自動化，降低對人的依賴。

沿用"SU8200系列"的冷場發(fā)射電子槍*2采用電子束在Flashing后出現(xiàn)的高亮度穩(wěn)定區(qū)域作為穩(wěn)定觀察的區(qū)間，使得低加速電壓條件下兼?zhèn)涓叻直嬗^察和分析的性能(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)采用污染小、高真空樣品倉運用能量過濾器(選配)，可觀察到多種成分對比度*2極低著陸電壓下高分辨觀察樣品：金顆粒著陸電壓：10 V

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概述

產(chǎn)品參數(shù)

沿用"SU8200系列"的冷場發(fā)射電子槍*2
采用電子束在Flashing后出現(xiàn)的高亮度穩(wěn)定區(qū)域作為穩(wěn)定觀察的區(qū)間，使得低加速電壓條件下兼?zhèn)涓叻直嬗^察和分析的性能
(Regulus8240/8230/8220: 0.7 nm/1 kV、Regulus8100: 0.8 nm/1 kV)
采用污染小、高真空樣品倉
運用能量過濾器(選配)，可觀察到多種成分對比度*2

極低著陸電壓下高分辨觀察

極低著陸電壓下高分辨觀察
樣品：金顆粒
著陸電壓：10 V

超高分辨觀察

超高分辨觀察
樣品：Pt催化劑
加速電壓：30 kV

低加速電壓下高分辨EDX分析

低加速電壓下高分辨EDX分析
樣品：Sn球
著陸電壓：1.5 kV

*2
Regulus8240/8230/8220

產(chǎn)品參數(shù)

項目			內(nèi)容
圖像分辨率	二次電子分辨率		0.8 nm/15 kV
圖像分辨率	二次電子分辨率		0.9 nm/1 kV
放大倍率			20～2,000,000 x
電子槍	發(fā)射體		ZrO/W熱場發(fā)射（肖特基熱場發(fā)射）
	加速電壓		0.1～30 kV （步進(jìn)：0.01 kV）
	束流		200 nA
探測器	標(biāo)準(zhǔn)探測器		UD （上探測器)
			MD （中探測器）
			LD （下探測器)
	選配探測器*1		PD-BSED (半導(dǎo)體式背散射電子探測器）
	選配探測器*1		UVD（高靈敏度低真空探測器）
低真空模式*1	樣品倉壓力范圍		5～300 Pa
低真空模式*1	可使用探測器		PD-BSED, UVD, UD, MD, LD
馬達(dá)臺	馬達(dá)臺控制		5軸馬達(dá)驅(qū)動
	移動范圍	X	0～135 mm
		Y	0～100 mm
		Z（WD）	1.5～40 mm
		T（傾斜角）	-5～70°
		R（旋轉(zhuǎn)角）	360°
	樣品尺寸		直徑：φ200 mm, 高度：80 mm
顯示器*1			23英寸LCD （1,920×1,080）, 支持雙屏
圖像顯示模式	全屏顯示模式		1,280×960像素顯示
	單屏顯示模式		800×600像素顯示
	雙屏顯示模式		800×600像素顯示、1,280×960像素顯示 *2
	四屏顯示模式		640×480像素顯示
	六屏顯示模式*2		640×480像素顯示 *2
圖像數(shù)據(jù)保存	保存圖像尺寸		640×480、1,280×960、2,560×1,920、5,120×3,840、10,240×7,680
選配附件			能譜儀（EDX）
			X射線波譜儀（WDX）
			電子背散射衍射（EBSD）
			陰極熒光探測器（CL)
			冷凍傳輸系統(tǒng)
			各種功能樣品臺