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日本理研 FP-260氫化物氣體檢測(cè)儀

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FP-260氫化物氣體檢測(cè)儀/分析儀適用于半導(dǎo)體工業(yè)特點(diǎn)●工業(yè)半導(dǎo)體凈化室的理想檢測(cè)儀器●更適于低濃度氣體檢測(cè)（PPM級(jí)）●抗干擾性強(qiáng)●盒式帶取放簡便●盒帶剩余量顯示技術(shù)參數(shù)類型臺(tái)式

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FP-260氫化物氣體檢測(cè)儀/分析儀

適用于半導(dǎo)體工業(yè)
  
 特點(diǎn)
●工業(yè)半導(dǎo)體凈化室的理想檢測(cè)儀器
●更適于低濃度氣體檢測(cè)（PPM級(jí)）
●抗干擾性強(qiáng)
●盒式帶取放簡便
●盒帶剩余量顯示


 技術(shù)參數(shù)

類 型

臺(tái)式，可搬運(yùn)型

檢測(cè)原理

光電光度學(xué)原理用于盒式紙帶

檢測(cè)盒帶

VHS型可更換盒式帶電

電源和耗電量

AC220V 50/60Hz
檢測(cè)時(shí)：35VA 供帶時(shí)：60VA

尺寸.重量

275(W)×220(H)×370(D)mm 約12Kg

 

檢測(cè)氣體名稱

檢測(cè)氣體

TLV值

檢測(cè)范圍

解析值

磷 PH4

300ppb

0--900ppb

5

四氫化硅 SiH4

5ppm

0--15ppm

0.25

B2H6

100ppb

0--300ppb

5

胂 AsH3

50ppb

0--150ppb

1

乙硅烷 SiH6

5ppm

0--10ppm

0.1

硫化氫 HS2

10ppm

0--100ppm

1

光氣 COCl2

100ppb

0--300ppb

2

氯氣 Cl2

0.5ppm

0--100ppb

1

硒化氫 H2Se

50ppb

0--300ppb

2

 

 


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