1、概述
金剛石線鋸分析儀主要用于金剛石線鋸產(chǎn)品的質(zhì)量分析。金剛石線鋸用于太陽(yáng)能硅片、LED、半導(dǎo)體、寶石、光學(xué)玻璃等貴重材料以及精密器件的切割,具有切割效率高,精度高等顯著優(yōu)點(diǎn),被電子信息、航空航天、寶石加工、新能源等行業(yè)廣泛應(yīng)用。金剛石線鋸是近年來(lái)發(fā)展起來(lái)的產(chǎn)品,產(chǎn)品制造技術(shù)日趨成熟,但分析技術(shù)相對(duì)落后。目前對(duì)于金剛石線鋸產(chǎn)品質(zhì)量的分析,只能依靠千分尺來(lái)分析外徑,借助于實(shí)體顯微鏡目力觀察線鋸的鍍層以及金剛石磨粒的分布情況,不能進(jìn)行定量檢驗(yàn)分析。
為了解決金剛石線鋸產(chǎn)品質(zhì)量定量分析檢驗(yàn)的問(wèn)題,本公司由博士、碩士和分析技術(shù)專(zhuān)家組成技術(shù)團(tuán)隊(duì),開(kāi)發(fā)研制出金剛石線鋸分析儀。該儀器由高分辨率CCD攝像頭、顯微鏡、精密載物臺(tái)、計(jì)算機(jī)等組成,分析處理采用的圖像處理技術(shù),由計(jì)算機(jī)對(duì)采集的線鋸圖像信息進(jìn)行自動(dòng)分析,分析效率高、結(jié)果準(zhǔn)確、可靠。
KBXJ-Ⅱ型金剛石線鋸形貌分析儀在Ⅰ型機(jī)的基礎(chǔ)上進(jìn)行了主機(jī)結(jié)構(gòu)的改進(jìn),主機(jī)架進(jìn)行了弧形設(shè)計(jì),整體結(jié)構(gòu)更加協(xié)調(diào);增加了載物平臺(tái)旋轉(zhuǎn)功能,使得檢驗(yàn)操作更加方便;調(diào)焦和照明系統(tǒng)加貼了刻度線,更有利于量化測(cè)試條件;軟件功能增加了磨粒堆積直徑分析、線鋸相對(duì)亮度差(表面粗糙度)分析功能,有利于判斷磨粒分散性以及鍍層的密實(shí)度。
2、儀器基本功能
儀器采集金剛石線鋸圖像,通過(guò)軟件對(duì)圖像信息進(jìn)行自動(dòng)分析。
分析項(xiàng)目:金剛石磨粒出刃率、出刃高度、出刃高度分布圖、出刃磨粒面積覆蓋比、鍍層厚度、線鋸絲徑、包絡(luò)外徑、出刃高度等多項(xiàng)參數(shù);對(duì)分析結(jié)果自動(dòng)編寫(xiě)出規(guī)范的分析報(bào)告;同時(shí)具有分析報(bào)告紙質(zhì)打印、文件打印、數(shù)據(jù)庫(kù)存盤(pán),報(bào)告檢索等管理功能。
3、儀器技術(shù)指標(biāo)
線鋸絲徑分析范圍 0.05~1.00mm, 分析精度1μm;
出刃高度分析范圍:1~50μm,分析精度1μm;
出刃率分析范圍:1~50000個(gè)/mm,分析精度1個(gè)/mm;
出刃磨料面積比:分析范圍:1~80%, 分析精度0.1%。
4、術(shù)語(yǔ)定義及物理意義
線鋸裸線— 指未進(jìn)行電鍍之前的線鋸基體金屬絲,簡(jiǎn)稱(chēng)裸線。如圖(2) 2所示。
裸線絲徑— 指在進(jìn)行電鍍前,線鋸基體金屬絲的絲徑。如圖(2) 7所示。
線鋸絲徑— 經(jīng)電鍍后的線鋸產(chǎn)品(包含鍍層厚度,但不包含出刃磨粒)的絲徑,如圖(2) 6所示。
絲徑均勻度— 線鋸絲徑波動(dòng)范圍。
包絡(luò)絲徑— 指線鋸產(chǎn)品包絡(luò)出刃磨粒的直徑,如圖(2) 5所示。
出刃高度— 指線鋸產(chǎn)品磨粒出露點(diǎn)至線鋸絲徑表面的距離。如圖(2) 4所示。
出刃率— 指線鋸產(chǎn)品每毫米長(zhǎng)度內(nèi),線鋸圓周所有的出刃磨粒數(shù)量總和。
磨粒面積比— 指線鋸產(chǎn)品出刃磨粒覆蓋絲徑表面的面積比(%)。
出刃高度— 指在分析范圍內(nèi),發(fā)現(xiàn)的出刃磨粒的高度。
堆積直徑— 代表團(tuán)聚磨粒覆蓋面積的等圓直徑。堆積直徑越大說(shuō)明線鋸表面的磨粒團(tuán)聚越嚴(yán)重。
表面亮度差— 指線鋸表面鍍層的亮度均勻性,亮度差越小,鍍層越均勻密實(shí),反之則不均勻、不密實(shí)。
H0、H5、H50、H95— 代表磨粒出刃高度特征值。
H0— 代表出刃磨粒的出刃高度,“*”提示出刃高度異常,可能會(huì)導(dǎo)致崩口。
H5— 代表出刃磨粒的數(shù)量累計(jì)達(dá)到5%時(shí)的磨粒出刃高度值。
H50— 代表出刃磨粒的數(shù)量累計(jì)達(dá)到50%時(shí)的磨粒出刃高度值。也稱(chēng)為中值出刃高度
H95— 代表出刃磨粒的數(shù)量累計(jì)達(dá)到95%時(shí)的磨粒出刃高度值。
5、檢驗(yàn)報(bào)告