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貝克曼庫爾特MET ONE 3411便攜式空氣顆粒計數器

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METONE3411便攜式空氣顆粒計數器適用于半導體潔凈室監(jiān)測、過程標記和顆粒故障排除等方面的應用

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MET ONE 3411 便攜式空氣顆粒計數器適用于半導體潔凈室監(jiān)測、過程標記和顆粒故障排除等方面的應用。MET ONE 3411 具有業(yè)界的 ISO 21501 數據準確性和再現(xiàn)性,是業(yè)內最潔凈的 0.1um 便攜式空氣顆粒計數器。

基本描述

便攜式空氣顆粒計數器|選擇 MET ONE 3411 的優(yōu)勢所在

  • 可讓您的潔凈室保持潔凈
    0.1um級別的顆粒計數器能讓排氣扇點塵不染
  • 熱插拔電池-確保儀器長時間連續(xù)運行
    由于儀器使用的是熱插拔電池,故無論儀器是充電還是斷電、計數歸零及采用備份電源時都無需停機
  • 測試向導(Test Wizard)能使您在組織潔凈室時讓合規(guī)性更容易得到保證
    可在監(jiān)控您的半導體生產環(huán)境時節(jié)省時間并消除錯誤
  • 順序采樣系統(tǒng)
    可用 MET ONE 3432 型順序采樣系統(tǒng)部署低成本的現(xiàn)場監(jiān)控解決方案。用單臺 MET ONE 3411 型空氣顆粒計數器可依次從多達32個位置進行順序采樣。
  • 靈活的通訊方式——設置簡單,數據傳輸方便
    供選擇的無線,以太網和串口通訊可以將數據傳輸到METONE數據管理系統(tǒng),或者客戶已有監(jiān)控軟件,以便減少文書工作
  • 直觀的用戶界面
    簡便的區(qū)域,位置和運行參數的配置和復制,節(jié)約運行時間。只需將完整的配置拷貝到一個 U 盤中,從而消除參數設置錯誤,并節(jié)省時間。還可以在整個顆粒計數組部署采樣計劃!
  • 符合ISO 21501-4 標準的可靠性和準確性
    專用于滿足特殊顆粒計數要求,儀器與儀器之間的準確度和再現(xiàn)性符合 ISO21501-4標準要求。

產品參數

通道個數6
粒徑0.1, 0.2, 0.3, 0.5, 1.0, 5.0µ
光源氦氖激光器
重量不含電池:15.9 公斤,電池:0.66 公斤
尺寸33 W x 55.9 D x 22.9 H cm (寬 x 長 x 高)
機箱材質便于清洗的鈍化不銹鋼
流速1.0 CFM (28.3 LPM)
零計數ISO 21501-4 和 JIS B 9921 標準:5分鐘內1顆或少于一顆, 95% 置信區(qū)間
符合損失在 50,000 /ft3 時,為5%,符合ISO 21501-4標準
泵的類型可供連續(xù)使用的的多瓣閉路循環(huán)控制泵
計數效率在0.1 µm時為 50%。根據ISO 21501-4和JIS B 9921,粒徑大于0.15µm時為 99%
運行溫度10 至 40°C; 相對濕度為10 至 90%,無冷凝
顯示? VGA 彩色 TFT 觸摸屏
打印機高速熱敏打印機
語言英語,法語,德語,意大利語,西班牙語,韓語*,日語*,中文
可以顯示的數值9,999,999 displayed
延遲時間15秒鐘至23小時59分59秒
采樣/停留時間1秒鐘至23小時59分59秒
計數警報1~ 9,999,999 個計數值
位置編號:0 至 999; 名稱:文字描述,顯示在打印輸出資料上
數據存儲5,000 個樣品, 在歷史數據查看頁面上可以滾動(FIFO 或 Overflow)
輸出USB 客戶端 (版本為 1.1)USB 主機端 (版本為 1.1)RS485 配有TCP/IP 通訊協(xié)議的以太網配有802.11g通訊協(xié)議的無線輸出 (可選)MET ONE 2432 型順序采樣系統(tǒng) (警報和掃描探頭)
鋰電池,可充電、可熱插拔Modbus TCP, Modbus RTU, 串行的 FX
輸入空氣速度探頭,相對濕度/溫度探頭
自動 CDA 清洗連接到CDA之后,清洗電磁閥會被激活
電源24VDC,配有 100-240 VAC, 50/60 Hz 適配器
電池類型智能鋰電池,可充電,可熱插拔
電池使用時間最短 3 小時
電池的充電時間電池的充電時間
包含電池數量2組

應用領域

專應用于半導體行業(yè)的空氣顆粒計數:

  • 潔凈室驗證監(jiān)測
  • 潔凈室的分級
  • ISO14644潔凈室驗證
  • 潔凈室顆粒物監(jiān)測
  • 生產過程的連續(xù)監(jiān)測
  • 顆粒污染源的排除過程
  • HEPA過濾器檢漏,粒徑大小包括 0.1、0.15、0.2、0.3、0.5 和 1um
  • 過濾器掃描
  • 高壓氣體監(jiān)測可簡單地通過氣體選擇菜單選擇相應氣體,流量會自動調整

空氣顆粒計數器生命科學標準及委員會:

  • 國際標準化組織 (ISO)
  • ISO14644潔凈室及相關受控環(huán)境
  • ISO 21501顆粒分布測確定--用于無塵空間的光散射顆粒計數器
  • 環(huán)境科學與技術研究所 (IEST)



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