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手動納米平臺

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 手動納米平臺

    手動納米平臺是西格瑪光機全新概念的,全新產(chǎn)品,至今還沒有確定上市時間,此款平臺在普通的手動微分頭和平臺臺面之間,加裝一個壓電陶瓷模塊,該壓電陶瓷模塊,有一組手動鈕控制,一個鈕對應(yīng)一個軸,實現(xiàn)平臺臺面位置的納米分辨率的微調(diào),不僅如此,它既有大行程(6mm),又有高精度(<20nm),還有小體積(25*25臺面可選),實現(xiàn)了手動平臺超高分辨率調(diào)整的理想手段。


技術(shù)指標: 

指標項目

臺面尺寸

25mm

40mm

 

60mm

 

行程

粗調(diào)(mm

6

13

13

微調(diào)(μm)

30~50

30~50

30~50

 

分辨率

粗調(diào)(mm

0.01

0.01

0.01

微調(diào)(nm

<20

<20

<20

 

承載能力

X/XY 軸(kg

2

3

5

Z軸(kg

1

1

1

 *粗調(diào):普通微分頭

    微調(diào):壓電陶瓷

    手調(diào)控制器類型:1軸用,3軸用


實測數(shù)據(jù)圖:


           


重要信息:

       我司是西格瑪光機的中國區(qū)域一級代理商,只要有新產(chǎn)品上新,我們都是個知道,想了解更多手動納米平臺的資料,可以關(guān)注我們,不僅如此,我們還提供各種指標的成像物鏡、加工物鏡、光刻物鏡等的定制,我們。



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