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XQ6J-GⅠ (激光球面干涉儀) XQ6J-GⅠ Laser Interferometer

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特點(diǎn):

功能齊全、操作簡便,、經(jīng)濟(jì)實(shí)用。球面零件曲率半徑R值和面形精度實(shí)現(xiàn)了同機(jī)測量，為使用者省去了制作標(biāo)準(zhǔn)樣板的煩腦更降低了生產(chǎn)成本。

技術(shù)參數(shù):

1.儀器配置球面標(biāo)準(zhǔn)鏡反射標(biāo)準(zhǔn)球面的面形偏差(PV)值小于0.03μm(λ/20)(F0.75)

2.標(biāo)準(zhǔn)平面(A面),直徑D1=Φ60mm,平面的面形偏差(PV)小于0.03μm(λ/20)

3.第二標(biāo)準(zhǔn)平面(B面),直徑D1=Φ60mm,平面的面形偏差(PV)小于0.03μm(λ/20)

4.準(zhǔn)直系統(tǒng) ——————工作直徑Φ60mm,焦距f=200mm

5.光源規(guī)格 —————— 激光ZN180(He-Ne)

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