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舜宇SOPTOP MX12R 半導(dǎo)體 \FPD 檢查顯微鏡

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全新的MX12R半導(dǎo)體 \FPD 檢查顯微鏡,支持 300mm 晶圓及 17英寸液晶面板的檢查,含 4、6、8、12英寸多種轉(zhuǎn)盤,可適用不同尺寸的晶圓檢查。人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì)全面提升,為用戶提供更加舒適、靈活、快捷的操作體驗(yàn)。

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全新的MX12R半導(dǎo)體 /FPD 檢查顯微鏡,支持 300mm 晶圓及 17英寸液晶面板的檢查,含 4、6、8、12英寸多種轉(zhuǎn)盤,可適用不同尺寸的晶圓檢查。人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì)全面提升,為用戶提供更加舒適、靈活、快捷的操作體驗(yàn)。



技術(shù)參數(shù)


型號

MX12R

光學(xué)系統(tǒng)

無限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng)

可選擇的觀察方法

明場/斜照明/偏振光/DIC/透射光

觀察筒

無限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀察筒,0-35°傾角可調(diào),正像,瞳距調(diào)節(jié) :50-76mm,分光比 100:0 或 0:100

目鏡

高眼點(diǎn)大視野平場目鏡 PL10X/25mm,視度可調(diào),可帶單刻度十字分劃版

物鏡

無限遠(yuǎn)明暗場半復(fù)消金相 DIC 物鏡 5X 10X 20X 50X 100X

轉(zhuǎn)換器

明暗場六孔電動轉(zhuǎn)換器,帶 DIC 插槽

電動平臺

面積 495mmX641mm,移動范圍 :306mmX306mm ;軟件控制 X、Y 移動,重復(fù)定位精度,(3+L/50)μm 帶平板平臺

顯微鏡鏡體

反射式機(jī)架,前置低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。粗調(diào)行程35mm,微調(diào)精度0.001mm。帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置。內(nèi)置 100-240V 寬電壓系統(tǒng)

透反機(jī)架,前置低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。粗調(diào)行程 35mm,微調(diào)精度 0.001mm。帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置。內(nèi)置 100-240V 寬電壓系統(tǒng)

照明系統(tǒng)

明暗場反射照明器 , 帶可變電動孔徑光闌,視場光闌 , 中心均可調(diào) ;帶明暗場照明切換裝置 ;帶濾色片插槽與偏光裝置插槽

攝影目鏡

0.5X/0.65X/1X 攝像接筒三選一,C 型接口,可調(diào)焦

可選附件

無限遠(yuǎn)長工作距明暗場半復(fù)消金相 DIC 物鏡 20X

無限遠(yuǎn)長工作距明暗場半復(fù)消金相物鏡 50X 、100X

起偏鏡插板,固定式檢偏鏡插板

反射用干涉濾色片組

高精度測微尺

DIC 組件




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