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快速轉(zhuǎn)盤共聚焦顯微鏡Smartproof 5

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Smartproof 5快速轉(zhuǎn)盤共聚焦顯微鏡以共聚焦光學為基本原理,采用高速轉(zhuǎn)盤掃描技術(shù)為成像方法,將高分辨率與速度很好結(jié)合在一起,是一款能夠快速提供工業(yè)零部件表面三維輪廓,并可實現(xiàn)非接觸式表面粗糙度測量的精密分析儀器。Smartproof 5擁有業(yè)內(nèi)的高分辨率和高速度共聚焦系統(tǒng),專有的轉(zhuǎn)盤共聚焦技術(shù)很好地減少獲取分析結(jié)果的時間。集成和穩(wěn)固設計確保無附加防振設備下能夠在不同環(huán)境中安裝并使用,操作者模式適合工業(yè)生產(chǎn)的批量檢測任務,能夠較大地提高檢測效率。蔡司以她*的光學技術(shù)和基于用戶的設計理念,證明了光學領域的地位。

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產(chǎn)品特點
高分辨
由于采用了共聚焦成像原理,Smartproof 5將傳統(tǒng)光學分辨率提高1.4倍,其XY方向線分辨率達到120 nm。
高測量精度
同時,在充分利用共聚焦能提供高度信息的基礎上,Smartproof 5配備了精度高、重復性好的Z軸自動步進裝置,最小步進精度達到1nm,這使得高度上亞微米,甚至納米尺度的非接觸式精確測量成為可能。
高速掃描
傳統(tǒng)共聚焦采用點掃描成像,速度較慢;而Smartproof 5采用轉(zhuǎn)盤掃描,成像速度大大提高,的高精度模式掃描速度超過50幅/秒(2048*2048分辨率),可以說瞬間即可得到測量結(jié)果,大大提高工作效率。
真實色彩還原
還可使用三色LED 光源,能夠展現(xiàn)被測試樣表面的真實顏色,從而將傳統(tǒng)黑白共聚焦掃描顯微鏡拓展到更廣闊的應用領域。
技術(shù)參數(shù):
1. 波長:405nm
2. 分辨率:120nm
3. Z軸最小步進精度:1nm
4. 成像速度:常規(guī)共聚焦的2-3倍
5. 物鏡:2.5x-100x
6. 高度掃描范圍:高達5mm
7. 載物臺:150mm×150mm超大行程
8. 控制系統(tǒng):Smartproof 5應用軟件
9. 圖像處理和數(shù)據(jù)測量 :
  2D:距離,高度,角度,構(gòu)造元素,基于ISO 4287的輪廓粗糙度
  3D:水平距離,3D距離,高度,角度,構(gòu)造點,面積,體積,基于ISO 25178的面粗糙度
  其他:水平調(diào)整,形狀去除,濾波,去噪,報告
應用:
1. 汽車制造:研究活塞的摩擦磨損、特殊要求的部件表面粗糙度測量、焊接組件及接縫處的角度測量
2. 航空航天工業(yè):評價橡膠密封圈的磨損、特殊要求表面 的粗糙度分析
3. :植入器官的表面測量
4. 微光學/機械制造:敏感精密光學部件的表面測量、精密機械部件的精密幾何測量
5. 電子:導線的幾何量測量(寬度,厚度等)、焊接結(jié)點的質(zhì)量過程控制
6. 造紙:紙張以及印刷品的表面測量


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