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200×200×200

300×200×200

400×300×200

500×400×200

測(cè)量精度

XY軸

E2=(2.0+L/300)µm

E2=(2.5+L/300)µm

Z軸

E1=(5.0+L/200)µm

◆ 配置,超精密全自動(dòng)測(cè)量,四軸CNC控制;

◆ 三軸THK精密線性滑軌、精密傳動(dòng)系統(tǒng);

◆ 全鼠標(biāo)、手柄操作,簡(jiǎn)單易用;

◆ 自動(dòng)對(duì)焦測(cè)高,可加裝接觸式測(cè)頭;

◆ Renishaw開放式光柵尺,精度高、穩(wěn)定性好;

◆ Navitar自動(dòng)變倍光學(xué)鏡頭,可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)變倍測(cè)量;

◆ 全自動(dòng)影像測(cè)量軟件(版);

● 光學(xué)系統(tǒng):Navitar 6.5:1可變倍,放大倍率29~163或58~326

● 運(yùn)動(dòng)控制:自主的CNC直流伺服系統(tǒng)

● 光柵尺:Renishaw光柵尺,0.4µm分辨率

● CCD:SONY 1/2"CCD 黑白/彩色

● 輪廓光:LED冷光源,256級(jí)亮度可調(diào)

表面光:6環(huán)8區(qū)LED冷光源,各段獨(dú)立操控,256級(jí)亮度可調(diào)

同軸光:LED冷光源,256級(jí)亮度可調(diào)


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