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高溫?zé)崽幚砑訜釥t,由日本米倉株式會社研發(fā)制造。加熱爐采用紅外集光加熱方式,通過收集光源紅外輻射,聚焦熱量至試樣處(均溫空間)對加熱對象加熱。該加熱爐加熱溫度1500℃,可對半導(dǎo)體材料進(jìn)行熱處理。大的加熱空間,也使得大試樣(70mm直徑)可以被直接加熱并觀察,而相對普通熱處理爐子的小體積,又節(jié)省了空間,可以方便的安裝/操作。

與傳統(tǒng)的電爐相比,熱處理加熱爐具有以下優(yōu)勢:

潔凈觀察:觀察爐采用紅外集光方式加熱,即光學(xué)加熱,六光源急速加熱,且光源不會對試樣造成污染。加熱溫度1500℃;

加熱速率高:高功率光源、高效率反射集光、體積小三個條件決定了可實(shí)現(xiàn)急速加熱冷卻、立體加熱效果、受熱均勻,熱臺加熱速度高達(dá)1500℃/min;

體積?。?/span>與普通熱處理爐相比,IR-HP2體積小,節(jié)省空間。與以往機(jī)體體積大、設(shè)置場所受限制的情況相比,小型化的機(jī)體可在各種環(huán)境中使用,可方便實(shí)地安裝/操作;

超大加熱空間:加熱空間大,可以實(shí)現(xiàn)大試樣(70mm直徑)的加熱以及觀察;

溫度控制精度高;

多氛圍:可以實(shí)現(xiàn)真空、大氣、惰性氣體和還原性氣體等多種氛圍環(huán)境;

高真空度:真空度可以達(dá)到數(shù)Pa(由真空泵決定);

清晰觀察:耐高溫石英玻璃,自動吹掃,防止揮發(fā)物的附著、保持始終清晰的觀察效果;

拓展應(yīng)用:可配備差熱、拉伸、壓縮、三點(diǎn)彎曲等功能,客戶可以根據(jù)需求改造應(yīng)用。


1、高溫?zé)崽幚砑訜釥t本體;

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1、水冷循環(huán)器;

2、真空泵;

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