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蔡司 Axio Imager Vario用于檢測大尺寸樣品的正置式顯微鏡檢查大尺寸樣品–滿足自動化潔凈室的要求從尺寸極小的MEMS傳感器到大尺寸晶圓，甚至整個平板顯示器，檢測期間不會對樣品造成破壞。Axio Imager Vario支持的樣品高度為254 mm，橫向樣品空間為300 mm，大大拓展了可以測試的樣品范圍。機柱設計確保了良好的穩(wěn)定性?？蓾M足在潔凈室內檢測晶圓的應用要求。利用驅動
從尺寸極小的MEMS傳感器到大尺寸晶圓，甚至整個平板顯示器，檢測期間不會對樣品造成破壞。Axio Imager Vario支持的樣品高度為254 mm，橫向樣品空間為300 mm，大大拓展了可以測試的樣品范圍。機柱設計確保了良好的穩(wěn)定性?？蓾M足在潔凈室內檢測晶圓的應用要求。利用驅動Z軸的電動馬達與自動聚焦硬件確保自動調整至理想的聚焦位置。 潔凈室 半導體生產(chǎn)和晶圓檢測需要在潔凈室內進行。根據(jù)DIN EN ISO 14644-1標準，以每立方米的顆粒數(shù)量和大小將潔凈室劃分成不同等級。Axio Imager Vario已通過此標準認證，并滿足5級潔凈室的應用要求。ISO 5級潔凈室相當于原先標準FED STD 209E（1992）的100級。潔凈室套件中包含一個7x物鏡轉盤、一個顆粒保護罩和防噴嚏保護罩。 具有兩種手動機柱和一種電動機柱（配有符合工業(yè)標準的三個模式控制按鈕）可供選擇，充分利用顯微鏡的橫向樣品空間300 mm x 300 mm和樣品高度254 mm的優(yōu)勢。 Axio Imager Vario能通過物鏡轉盤的上下移動來聚焦樣品。這意味著即便是較重的樣品，依然可以獲得高聚焦精度和可重復性。 借助硬件自動對焦功能，可以精準快速地聚焦低對比度的反射樣品。 將Axio Imager Vario與LSM 900結合使用，能夠以高分辨率無接觸地分析敏感樣品 Axio Imager Vario已通過DIN EN ISO 14644-1認證，并滿足5級潔凈室的應用要求。 具有硬件自動對焦功能的Axio Imager Vario能夠在高達12000 µm的焦點捕獲范圍內精準快速地聚焦反射樣品。聚焦系統(tǒng)能夠保證聚焦精度達到所使用物鏡景深的0.3倍。自動聚集功能適合于使用反射光、透射光、明場、暗場、偏光、微分干涉相差及斜照明觀察方式的應用。蔡司 Axio Imager Vario
用于檢測大尺寸樣品的正置式顯微鏡
檢查大尺寸樣品–滿足自動化潔凈室的要求
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