產(chǎn)品介紹：
集優(yōu)異性能、操作簡便性、多樣化功能于一身
日立高新推出的掃描電鏡SU3800/SU3900兼具操作性和擴(kuò)展性，結(jié)合眾多的自動(dòng)化功能，可高效發(fā)揮其高性能。SU3900標(biāo)配多功能超大樣品倉，可應(yīng)對大型樣品的觀察。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
①SU3900標(biāo)配多功能超大樣品倉，可應(yīng)對大型樣品的觀察
■樣品臺(tái)可搭載超大/超重樣品
通過更換樣品提示，可防止由于與樣品的接觸而損壞設(shè)備或樣品
選配樣品交換倉，可在主樣品倉保持真空的狀態(tài)下快速更換樣品，大大提高了工作效率
具備樣品臺(tái)移動(dòng)限制解除功能,提高了自由度*
紅外CCD探測器，提高了樣品臺(tái)移動(dòng)的安全性
■支持全視野移動(dòng)。SEM MAP支持超大樣品的全視野觀察
與GUI聯(lián)合，可配備樣品倉室導(dǎo)航相機(jī)
覆蓋整個(gè)可觀察區(qū)域
支持360度旋轉(zhuǎn)
②隨著各種自動(dòng)化功能的強(qiáng)化，操作性能得到了進(jìn)一步優(yōu)化。
■一個(gè)鼠標(biāo)就能夠輕松操作的簡約GUI
■各種自動(dòng)化功能
自動(dòng)調(diào)整算法經(jīng)改良后，等待時(shí)間減少至以往的1/3以下(※S-3700N比例)
提高了自動(dòng)聚焦精度
搭載Intelligent Filament Technology（IFT）
■Multi Zigzag，可實(shí)現(xiàn)多區(qū)域的大視野觀察
■Report Creator，可利用獲得的數(shù)據(jù)批量生成數(shù)據(jù)報(bào)告
③可提供滿足測試需求的應(yīng)用解決方案
■可滿足多種觀察需求的探測器
搭載高靈敏度UVD*，支持CL觀察
高靈敏度半導(dǎo)體式背散射電子探測器，切換成分/凹凸等多種圖像
■配備了多功能超大樣品倉，可以搭載多種配件
>■SEM/EDS一體化功能*
■三維顯示測量軟件 Hitachi Map 3D*
■支持圖像測量軟件Image pro
*配件
礦物的觀察分析案例
顯示了鋯石晶體在相同視野下的觀察結(jié)果。在BSE圖像中很難看清鉻濃度的緩和偏差。但是,在CL圖像中可以確認(rèn)到暗 色區(qū)域是對應(yīng)于錯(cuò)濃度較高的區(qū)域。
應(yīng)用圖例
金屬材料
陶瓷材料
電子零件
生物/醫(yī)藥品
產(chǎn)品規(guī)格
| ITEM | SU3800 | SU3900 |
| 二級(jí)電子分解能 | 3.0nm（加速電壓30kV、WD=5mm、高真空模式） |
| 15.0nm（加速電壓1kV、WD=5mm、高真空模式） |
| 背散射電子分解能 | 4.0nm（加速電壓30kV、WD=5mm、低真空模式） |
| 倍率 | ×5~×300,000（照片倍率*1） |
| ×7～×800,000（實(shí)際顯示倍率*2） |
| 加速電壓 | 0.3kV~30kV |
| 低真空度設(shè)定 | 6~650Pa |
| 圖像位移 | ±50µm（WD＝10mm） |
| 樣品尺寸 | 200mm直徑 | 300mm直徑 |
樣品臺(tái)
| X | 0~100mm | 0~150mm |
| Y | 0~50mm | 0~150mm |
| Z | 5~65mm | 5~85mm |
| R | 360°連續(xù) |
| T | －20°～+90° |
| 可觀察范圍 | 130mm直徑（R并用） | 200mm直徑（R并用） |
| 可觀察高度 | 80mm（WD=10mm） | 130mm（WD=10mm） |
| 電機(jī)驅(qū)動(dòng) | 5軸電機(jī)驅(qū)動(dòng) |
電子光學(xué)系統(tǒng)
| 電子槍 | 中心操控式鎢絲發(fā)射 |
| 物像鏡頭光圈 | 4孔可動(dòng)光圈
|
| 檢測系統(tǒng) | 二級(jí)電子檢測器、高靈敏半導(dǎo)體背散射電子檢測器 |
| EDX分析WD | WD＝10mm（T.O.A＝35°） |
| 圖像顯示 | 自動(dòng)光軸調(diào)整功能 | 自動(dòng)光束調(diào)整（AFS→ABA→AFC→ABCC） |
| 自動(dòng)光軸調(diào)整（實(shí)時(shí)級(jí)別對齊） |
| 自動(dòng)調(diào)整光束亮度 |
| 自動(dòng)圖像調(diào)整功能 | 自動(dòng)亮度和對比度控制（ABCC） |
| 自動(dòng)對焦控制（AFC） |
| 自動(dòng)標(biāo)記和焦點(diǎn)功能（ASF） |
| 自動(dòng)燈絲飽和度調(diào)整（AFS） |
| 自動(dòng)光束對準(zhǔn)（ABA） |
| 自動(dòng)啟動(dòng)（HV-ON→ABCC→AFC） |
| 操作輔助功能 | 光機(jī)旋轉(zhuǎn)、動(dòng)態(tài)聚焦、圖像質(zhì)量改善功能、數(shù)據(jù)輸入（點(diǎn)對點(diǎn)測量、角度測量、文本）、預(yù)設(shè)放大、樣品臺(tái)位置導(dǎo)航功能（SEM MAP）、光束標(biāo)記功能 |
| 配件 | ■硬件:軌跡球、操縱桿、操作面板、壓縮機(jī)、高靈敏度操作低空探測器（UVD）、紅外CCD探測器、攝像機(jī)導(dǎo)航系統(tǒng)■軟件:SEM數(shù)據(jù)管理器外部通訊接口、3D捕獲、裝置臺(tái)移動(dòng)限制解除功能、EDS集成 |
| 配件（外部裝置） | 能量散射X射線分析儀（EDS）、波長色散X射線分析儀（WDS）、各種外部功能臺(tái)（加熱臺(tái)、冷卻臺(tái)、牽引臺(tái)） |
* 1.指正放大倍率為127 mm x 95 mm（4x5照片尺寸）的顯示尺寸。
* 2.放大倍率為509.8 mm x 286.7 mm（1,920 x 1,080像素）的顯示尺寸。
