產(chǎn)品介紹:
NewView™ 9000 3D光學(xué)輪廓儀提供了強(qiáng)大、多功能的非接觸式光學(xué)表面分析。它可以簡(jiǎn)單和快速地測(cè)量各種表面類型,包括光滑、粗糙、平坦、傾斜和階梯式的表面。所有的測(cè)量都是無(wú)損、快速、無(wú)需樣品制備的。
ZYGO相干掃描干涉技術(shù)(CSI)是系統(tǒng)的核心技術(shù),在所有放大倍數(shù)下實(shí)現(xiàn)亞納米的精度,并且能夠快速準(zhǔn)確的測(cè)試各種樣品表面,為客戶提供高投資回報(bào)率的體驗(yàn)。
性能,價(jià)值和多樣性
靈活性是ZYGO NewView產(chǎn)品的標(biāo)志。NewView 9000光學(xué)輪廓儀提供多樣化的應(yīng)用,包括平面度,粗糙度和波紋度,薄膜,臺(tái)階高度和更多應(yīng)用。 所有NewView 9000輪廓儀都配備一個(gè)3位變焦塔臺(tái),可以為系統(tǒng)自動(dòng)切換不同倍率的分立變焦。樣品臺(tái)可選配手動(dòng)型或全自動(dòng)編碼型。
所有NewView 9000輪廓儀系統(tǒng)都提供高精度測(cè)量,易于使用和快速測(cè)量,價(jià)格吸引人,在通用性和應(yīng)用價(jià)值方面使其成為3D光學(xué)輪廓儀的理想選擇。
主要特點(diǎn):
? 高靈敏度1.9 MP傳感器
? 快速非接觸式測(cè)量
? 的可視化3D表面
? 亞埃級(jí)精度
? 超精密&計(jì)量能力
? 增強(qiáng)光學(xué)成像
? 自動(dòng)零件定位
以下差異化特性實(shí)現(xiàn)用戶計(jì)量更好、更快和更可靠:
? 大面積1.9 MP傳感器:高靈敏度,在單次測(cè)量中獲取更多的信息
? 高速測(cè)量:只需幾秒時(shí)間,優(yōu)化的測(cè)試能力和程序控制
? 自動(dòng)零件聚焦和定位:減少操作員測(cè)試差異,提高培訓(xùn)和測(cè)試效率
? 重復(fù)性特征:優(yōu)異的測(cè)量精度和可重復(fù)性,為高要求的生產(chǎn)應(yīng)用提供服務(wù)
? 抗震測(cè)量: SureScan™抗震技術(shù)和集成式抗震平臺(tái)使系統(tǒng)在震動(dòng)環(huán)境下也可實(shí)現(xiàn)高精度計(jì)量
? SmartPSI™技術(shù):對(duì)超光滑表面進(jìn)行快速分析測(cè)量
? 2D和3D的相關(guān)性:測(cè)量結(jié)果遵循ISO 25178和ISO 4287標(biāo)準(zhǔn)。
? Mx™軟件:實(shí)現(xiàn)儀器控制、分析和測(cè)量自動(dòng)化
的分析&控制軟件
NewView 9000輪廓儀使用ZYGO Mx™軟件,支持完整系統(tǒng)控制和數(shù)據(jù)分析,包括豐富的交互式3D繪圖,量化的形貌信息,直觀的測(cè)量導(dǎo)航以及內(nèi)置的SPC統(tǒng)計(jì),質(zhì)量控制圖,通過(guò)/失敗限制設(shè)置。
? 交互式3D繪圖 – 縮放,平移,旋轉(zhuǎn),并實(shí)時(shí)更新結(jié)果。
? 靈活分析 – 廣泛的定量分析結(jié)果,包括數(shù)據(jù)視圖和過(guò)濾器。
? 直觀的用戶界面 – 易于學(xué)習(xí)和使用的流程界面設(shè)計(jì)。
? 內(nèi)置SPC分析工具 – 跟蹤結(jié)果,監(jiān)控合格/不合格的標(biāo)準(zhǔn),跟蹤處理數(shù)據(jù)。
還有滿足特殊應(yīng)用需求的應(yīng)用程序模塊,如透明薄膜的樣品測(cè)量,2D圖像分析等。
NewView9000光學(xué)輪廓儀系統(tǒng)
靈活的配置
NewView 9000輪廓儀的工作區(qū)域功能開放,界面條理清晰,使測(cè)量設(shè)置和轉(zhuǎn)換簡(jiǎn)單&快速。系統(tǒng)可以配備多種樣品平臺(tái),從手動(dòng)型到全自動(dòng)型,150毫米XY平移和4度俯仰傾斜。可選集成式的抗震平臺(tái),緊湊的尺寸,使它非常適合于臺(tái)式安裝,結(jié)合可選的工作臺(tái)使其成為理想的生產(chǎn)型測(cè)試系統(tǒng)。
開放的工作區(qū)域使視野更清晰操作更便捷