9812DX 作為單一完整的低頻噪聲測(cè)試系統(tǒng)，支持全面的半導(dǎo)體器件種類在多種測(cè)試條件下的高精度噪聲測(cè)試，提供了很高的晶圓級(jí)噪聲測(cè)試精度和測(cè)試帶寬，該型號(hào)的測(cè)試精度較之前的9812D 提高了一個(gè)數(shù)量級(jí)，測(cè)試噪聲電流精度低至10-27A2/Hz，其測(cè)試能力覆蓋非常廣泛，是市面少有的從10Ω到10MΩ 可同時(shí)覆蓋高阻抗器件和低阻抗器件測(cè)試能力的設(shè)備。
針對(duì)半導(dǎo)體工藝制程節(jié)點(diǎn)特別是FinFET 工藝下對(duì)低頻噪聲測(cè)試需求“爆炸式”增長(zhǎng)的挑戰(zhàn)，通過(guò)軟硬件創(chuàng)新設(shè)計(jì)，9812DX 不但使典型噪聲測(cè)試速度提高至一個(gè)偏置條件僅需10s，還將測(cè)試電壓提高到200V 從而使得適用應(yīng)用場(chǎng)景更加廣泛。該系統(tǒng)可在短時(shí)間內(nèi)獲得更加精確可信的測(cè)試數(shù)據(jù)，另外還可以通過(guò)并行測(cè)試架構(gòu)解決方案以及協(xié)同F(xiàn)S-Pro 半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)等方式大幅度的提高了測(cè)試效率和吞吐量。
目前，9812DX 已被眾多半導(dǎo)體代工廠所采用，繼9812B/D 后成為低頻噪聲測(cè)試領(lǐng)域新一代的“黃金標(biāo)準(zhǔn)”，被用于28nm,14nm, 10nm, 7nm 和5nm 等各工藝節(jié)點(diǎn)的工藝研發(fā)和集成電路設(shè)計(jì)。
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
應(yīng)用范圍：
● 已被眾多半導(dǎo)體公司所采用的標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試系統(tǒng)
● 產(chǎn)品歷史超過(guò)十年
功能：
● 1/f 噪聲測(cè)試與特性分析、RTN 測(cè)試與特性分析
● 任意待測(cè)類型，晶圓級(jí)高精度和測(cè)試帶寬
● 寬電壓、寬電流、寬阻抗測(cè)量范圍
系統(tǒng)架構(gòu):
● 系統(tǒng)體系架構(gòu)經(jīng)過(guò)行業(yè)認(rèn)可并不斷完善，可靠性好和精度高
支持并行測(cè)試：
● 經(jīng)過(guò)業(yè)界客戶嚴(yán)苛驗(yàn)證并認(rèn)可的在高精度下高測(cè)試吞吐率和并行測(cè)試能力
硬件規(guī)格
| 寬量程 | 器件端電壓和電流: 200V, 200mA |
| 高精度 | DC 電流精度: 10pA、系統(tǒng)噪聲電流精度: <10-27a2> |
| 測(cè)試速度 | 典型1/f 噪聲測(cè)試速度可達(dá)10 秒/bias |
| 抗阻范圍 | 阻抗匹配范圍: 10Ω-10 MΩ Gate/Base 電阻多達(dá)17 個(gè)選擇 Drain/Collector 電阻多達(dá)15 個(gè)選 |
| 系統(tǒng)參數(shù) | 電壓放大器: <0.03-10mhz,> 電流放大器: <0.03-1mhz,0.7pa> 可編程偏置濾波器, ESD 保護(hù) 內(nèi)置16 位DSA 支持多臺(tái)并行測(cè)試 |
| RTN測(cè)試 | 樣本點(diǎn)960K個(gè) |
軟件規(guī)格
9812DX 系列內(nèi)置NoiseProPlus 測(cè)量軟件具有強(qiáng)大的低頻噪聲測(cè)試和分析功能，該軟件具有下列主要功能:
● 軟件界面友好易操作，同時(shí)滿足測(cè)試控制、圖形顯示和數(shù)據(jù)分析需求
● 支持1/f 噪聲和RTN 噪聲測(cè)試 ，具有專業(yè)的數(shù)據(jù)分析功能
● 測(cè)試結(jié)果可導(dǎo)出供用戶后續(xù)分析研究，測(cè)試數(shù)據(jù)可直接導(dǎo)入
● 建模軟件BSIMProPlus 和MeQLab 進(jìn)行噪聲模型提取和特性分析
● 支持多種模式、多種器件在不同偏置下的手動(dòng)/自動(dòng)測(cè)試
● 支持驅(qū)動(dòng)Keysight/Keithley 等各型號(hào)主流測(cè)試儀
● 支持驅(qū)動(dòng) Cascade/SUSS/MPI 等各型號(hào)Prober 實(shí)現(xiàn)手動(dòng)及全自動(dòng)測(cè)試
應(yīng)用實(shí)例
