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3D表面輪廓儀/白光干涉儀

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光學(xué)3D表面輪廓儀,又稱白光干涉儀,它是以白光干涉掃描技術(shù)為基礎(chǔ)研制而成的用于樣品表面微觀形貌檢測的儀器。光學(xué)3D表面輪廓儀是以非接觸的掃描方式,實現(xiàn)針對樣品表面的重復(fù)精度的3D測量,獲取表征樣品表面質(zhì)量的2D、3D數(shù)據(jù)。光學(xué)3D表面輪廓儀可對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。光學(xué)3D表面輪廓儀可廣泛應(yīng)用于對器件表面質(zhì)量要求高的半導(dǎo)體、3C電子屏幕等器件、太陽能印刷薄膜、光學(xué)加工、納米材料等工業(yè)企業(yè)領(lǐng)域,以及高校、所、科研院所等計量、研究性質(zhì)單位

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技術(shù)規(guī)格 Technical specifications

型號

W1

W2

光源

白光LED

白光LED

標(biāo)配影像系統(tǒng)

1024×1024(2048×2048可選)

1024×1024(2048×2048可選)

標(biāo)配干涉物鏡

10×(2.5×,5×,20×,50×,100×可選)

10×(2.5×,5×,20×,50×,100×可選)

標(biāo)配光學(xué)ZOOM

1×,(0.5×、0.75×可選)

1×,(0.5×、0.75×可選)

標(biāo)配視場

0.49*0.49mm

0.49*0.49mm

******視場

6*6mm

6*6mm

物鏡塔臺

3孔手動

3孔手動

XY位移平臺

尺寸

320×200mm

320×320mm

移動范圍

140×110mm

200×200mm

負(fù)載

10kg

10kg

控制方式

電動

電動

水平調(diào)整

±4°手動

±電°手動

Z軸聚焦

行程

100mm

100mm

控制方式

電動

電動

Z向掃描范圍

10 mm

10 mm

Z向分辨率

0.1nm

0.1nm

可測樣品反射率

0.5%~99%

0.5%~99%

粗糙度RMS重復(fù)性

0.005nm

0.005nm

臺階測量

準(zhǔn)確度

重復(fù)性

準(zhǔn)確度

重復(fù)性


0.75% 1σ

0.1% 1σ

0.75% 1σ

0.1% 1σ



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