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- 公司名稱 蘇州拜特微光電科技有限公司
- 品牌
- 型號
- 所在地 蘇州市
- 廠商性質(zhì) 其他
- 更新時間 2024/5/27 16:20:21
- 訪問次數(shù) 66
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光學(xué)3D表面輪廓儀,又稱白光干涉儀,它是以白光干涉掃描技術(shù)為基礎(chǔ)研制而成的用于樣品表面微觀形貌檢測的儀器。光學(xué)3D表面輪廓儀是以非接觸的掃描方式,實現(xiàn)針對樣品表面的重復(fù)精度的3D測量,獲取表征樣品表面質(zhì)量的2D、3D數(shù)據(jù)。光學(xué)3D表面輪廓儀可對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。光學(xué)3D表面輪廓儀可廣泛應(yīng)用于對器件表面質(zhì)量要求高的半導(dǎo)體、3C電子屏幕等器件、太陽能印刷薄膜、光學(xué)加工、納米材料等工業(yè)企業(yè)領(lǐng)域,以及高校、所、科研院所等計量、研究性質(zhì)單位
技術(shù)規(guī)格 Technical specifications
型號 | W1 | W2 | |||
光源 | 白光LED | 白光LED | |||
標(biāo)配影像系統(tǒng) | 1024×1024(2048×2048可選) | 1024×1024(2048×2048可選) | |||
標(biāo)配干涉物鏡 | 10×(2.5×,5×,20×,50×,100×可選) | 10×(2.5×,5×,20×,50×,100×可選) | |||
標(biāo)配光學(xué)ZOOM | 1×,(0.5×、0.75×可選) | 1×,(0.5×、0.75×可選) | |||
標(biāo)配視場 | 0.49*0.49mm | 0.49*0.49mm | |||
******視場 | 6*6mm | 6*6mm | |||
物鏡塔臺 | 3孔手動 | 3孔手動 | |||
XY位移平臺 | 尺寸 | 320×200mm | 320×320mm | ||
移動范圍 | 140×110mm | 200×200mm | |||
負(fù)載 | 10kg | 10kg | |||
控制方式 | 電動 | 電動 | |||
水平調(diào)整 | ±4°手動 | ±電°手動 | |||
Z軸聚焦 | 行程 | 100mm | 100mm | ||
控制方式 | 電動 | 電動 | |||
Z向掃描范圍 | 10 mm | 10 mm | |||
Z向分辨率 | 0.1nm | 0.1nm | |||
可測樣品反射率 | 0.5%~99% | 0.5%~99% | |||
粗糙度RMS重復(fù)性 | 0.005nm | 0.005nm | |||
臺階測量 | 準(zhǔn)確度 | 重復(fù)性 | 準(zhǔn)確度 | 重復(fù)性 | |
0.75% 1σ | 0.1% 1σ | 0.75% 1σ | 0.1% 1σ |
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