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MX63和MX63L顯微鏡系統(tǒng)經(jīng)過優(yōu)化，適用于尺寸300 mm的晶圓、平板顯示器、電路板以及其他大尺寸樣品的高質(zhì)量檢測。其采用的模塊化設(shè)計使您能夠選擇需要的組件，獲得根據(jù)應(yīng)用定制的系統(tǒng)。
讓您的大尺寸樣品檢測流程更加順暢
MX63和MX63L顯微鏡系統(tǒng)經(jīng)過優(yōu)化，適用于尺寸300 mm的晶圓、平板顯示器、電路板以及其他大尺寸樣品的高質(zhì)量檢測。其采用的模塊化設(shè)計使您能夠選擇需要的組件，獲得根據(jù)應(yīng)用定制的系統(tǒng)。
這兩款符合人體工學(xué)設(shè)計且人性化的顯微鏡有助于在提高工作效率的同時，保持檢測員的工作舒適性。與PRECiV圖像分析軟件結(jié)合使用時，可以簡化從觀察到報告創(chuàng)建的整個工作流程。
的分析工具
MX63系列的各種觀察功能可生成清晰銳利的圖像，讓用戶能夠?qū)悠愤M行可靠的缺陷檢測。全新照明技術(shù)和PRECiV圖像分析軟件的圖像采集選項為用戶評估樣品和記錄結(jié)果提供了更多選擇。
從不可見到可見：MIX觀察和圖像采集
MIX觀察技術(shù)通過將暗場與明場、熒光或偏振光等其他觀察方法相結(jié)合，生成的觀察圖像。MIX觀察技術(shù)使用戶能夠查看使用傳統(tǒng)顯微鏡難以看到的缺陷。暗場觀察所用的環(huán)形LED照明器具有在時間僅使用一個象限的定向暗場功能。該功能可減少樣品光暈，對于樣品表面紋理的可視化非常有用。
輕松生成全景圖像：即時MIA
使用多圖像拼接（MIA）功能時，用戶只需轉(zhuǎn)動手動載物臺上的KY旋鈕，即可快速輕松完成圖像拼接 — 電動載物臺無需進行該操作。PRECiV軟件采用模式識別生成全景圖像，讓用戶獲得更寬的視場。
利用HDR同時采集明亮區(qū)域和暗光區(qū)域
采用圖像處理技術(shù)的高動態(tài)范圍（HDR）可調(diào)整圖像內(nèi)的亮度差異，從而減少眩光。HDR改善了數(shù)字圖像的視覺品質(zhì)，有助于生成具有專業(yè)級外觀的報告。
從基本測量到高級分析
測量對于質(zhì)量、工藝控制和檢測至關(guān)重要。鑒于這一點，即便是入門級PRECiV軟件包也融入了交互式測量功能的全部菜單，并且所有測量結(jié)果都與圖像文件一起保存以便存檔。此外，PRECiV材料解決方案還為復(fù)雜圖像分析提供面向工作流程的直觀界面。只需單擊一下按鈕，即可快速精準執(zhí)行圖像分析任務(wù)。由于大幅縮減了重復(fù)任務(wù)的處理時間，操作員可以專注于手頭的檢測工作。
高效的報告創(chuàng)建
與圖像采集和測量相比，創(chuàng)建報告通常需要花費更長的時間。PRECiV軟件提供了直觀的報告創(chuàng)建功能，可以根據(jù)預(yù)定義的模板多次生成智能、復(fù)雜的報告。編輯操作非常簡單，報告可導(dǎo)出為Microsoft Word或PowerPoint文件。此外，PRECiV軟件的報告功能可對采集的圖像進行數(shù)字變焦和倍率放大。報告文件大小適中，更便于通過電子郵件進行數(shù)據(jù)交換。
| MX63 | MX63L | ||
| 光學(xué)系統(tǒng) | UIS2光學(xué)系統(tǒng)（無限遠校正系統(tǒng)） | ||
| 顯微鏡鏡架 | 反射光照明 | 白光LED（帶光強度管理器）12 V 100 W鹵素燈，100W汞燈，光導(dǎo) 明場/暗場/反射鏡分光鏡組件手動切換。（反射鏡分光鏡組件為選配件。） 通過手動操作調(diào)整3位編碼分光鏡組件 內(nèi)置電動孔徑光闌（針對所有物鏡預(yù)設(shè)，暗場自動打開） 觀察模式：明場、暗場、微分干涉對比度（DIC）*1、簡易偏振光*1、熒光*1、紅外和MIX觀察（4個定向暗場）*2 *1 選配分光鏡組件，*2 需使用MIX觀察配置 | |
| 透射光照明 | 透射光照明裝置：需使用MX-TILA或MX-TILLB。 - MX-TILLA：聚光鏡（數(shù)值孔徑 0.5）和孔徑光闌 - MX-TILLB：聚光鏡（數(shù)值孔徑 0.6）、孔徑光闌和視場光闌 光源：LG-LSLED（LED光源）光導(dǎo)：LG-SF 觀察模式：明場、簡易偏振光 | ||
| 對焦 | 行程：32 mm 每轉(zhuǎn)行程微調(diào)：100 μm 最小分度：1 μm 配上限限位器和粗調(diào)手柄扭矩調(diào)節(jié) | ||
| 載荷重量（包括載物臺和支架） | 8 kg | 15 kg | |
| 觀察筒 | 寬視場（FN 22 mm） | 正像三目鏡筒：U-ETR4 正像可調(diào)傾角三目鏡筒：U-TTR-2 倒像三目鏡筒：U-TR30-2、U-TR30IR（用于紅外觀察） 倒置雙目鏡筒：U-BI30-2 倒像可調(diào)傾角雙目鏡筒：U-TBI30 | |
| 超寬視場（FN 26.5 mm） | 正像可調(diào)傾角三目鏡筒：MX-SWETTR（光程切換99% [目鏡]：0 [相機] 或0：99%） 正像可調(diào)傾角三目鏡筒：U-SWETTR（光程切換99% [目鏡]：0 [相機] 或20%：80%） 倒像三目鏡筒：U-SWTR-3 | ||
| 電動物鏡轉(zhuǎn)換器 | 明場 明場和暗場 | ||
| 載物臺（X x Y） | 帶內(nèi)置離合驅(qū)動的同軸右手柄：MX-SIC8R 帶內(nèi)置離合驅(qū)動的同軸右手柄：MX-SIC6R2 | 帶內(nèi)置離合驅(qū)動的同軸右手柄：MX-SIC1412R2 行程：356 x 305 mm 透射光照明區(qū)域：356 x 284 mm | |
| 重量 | 約35.6kg（顯微鏡鏡架26kg） | 約44kg（顯微鏡鏡架28.5kg） | |
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