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半導(dǎo)體顯微鏡 L200/L300

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FPD/LSI檢查顯微鏡ECLIPSEL300ND、L300N和L200ND、L200N這一系列的顯微鏡是檢查硅片、顯示屏等大型樣品的理想選擇

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FPD/LSI檢查顯微鏡 ECLIPSE L300ND、L300N和L200ND、L200N

這一系列的顯微鏡是檢查硅片、顯示屏等大型樣品的理想選擇。


用于檢查大型樣品的高級(jí)顯微鏡

采用尼康CFI60-2光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì),成像清晰;可搭配數(shù)碼相機(jī)。


尼康ECLIPSE L300N(D)和L200N(D)

用于硅片(L200N系列為200mm,L300N系列為300mm)、分劃板和其它大型平板類電子零部件的光學(xué)檢查。


尼康CFI60-2光學(xué)系列

尼康的創(chuàng)新設(shè)計(jì),支持實(shí)現(xiàn)清晰的、高對(duì)比度的明場(chǎng)、暗場(chǎng)、熒光、偏光(POL)、微分干涉(DIC)鏡檢,以及雙光束干涉測(cè)量。


尼康Digital Sight數(shù)碼相機(jī)

尼康全系列Digital Sight數(shù)碼相機(jī)都能高效地進(jìn)行拍照,并可將當(dāng)前在用物鏡、倍率轉(zhuǎn)換設(shè)置和照明光亮度等參數(shù)一起傳送到NIS-Elements顯微鏡圖像處理軟件中。


L200N與NWL200聯(lián)合使用

在半導(dǎo)體行業(yè)中得到廣泛認(rèn)可和信任,目前有許多裝置在使用。





產(chǎn)品亮點(diǎn)

尼康CFI60-2光學(xué)系統(tǒng)

尼康的創(chuàng)新設(shè)計(jì)光學(xué)系統(tǒng)成像清晰,支持多種顯微鏡鏡檢。

反射照明下可選擇的鏡檢方式有:明場(chǎng)、暗場(chǎng)、偏光(POL)、微分干涉(DIC)、熒光和雙光束干涉;


多種鏡檢方式

透射照明下可選擇的鏡檢方式有:明場(chǎng)、暗場(chǎng)、偏光(POL)、微分干涉(DIC)和相差。



數(shù)字化智能通信

顯微鏡通過(guò)USB與尼康NIS Elements軟件相連,可檢查并控制物鏡轉(zhuǎn)換、照明亮度、光闌動(dòng)作等。



人體工學(xué)設(shè)計(jì)

使用傾角可調(diào)的目鏡筒,可使操作者更為舒適地觀察樣品,消除疲勞。

主要用于觀察原材料、半導(dǎo)體和工業(yè)零部件。



核心功能









行業(yè)

主要用途集中在電子通訊領(lǐng)域的零部件檢查,如硅片、液晶顯示屏等。反射熒光*可用來(lái)有效地檢查光刻膠殘留,檢查有機(jī)EL顯示屏。

*僅L300N/L300ND/L200ND



ECLIPSE L200N  (反射照明專?)ECLIPSE L200ND  (反射 / 透射照明兩?)
主機(jī)機(jī)?12V50W 調(diào)光 ?  內(nèi)置電源
對(duì)焦部:?程 29mm
粗動(dòng):  12.7mm/ 轉(zhuǎn)(帶扭距調(diào)節(jié) ?  再對(duì)焦機(jī)能)
微動(dòng):  0. 1mm/ 轉(zhuǎn) (以 μ m 為刻度)
控制部:物鏡轉(zhuǎn)換、調(diào)光、孔徑光闌開(kāi)關(guān)、反射 / 透射切換(僅?于 L200ND)
物鏡轉(zhuǎn)換器:  6 孔電動(dòng)通?、帶微分?涉滑塊插孔
反射照明部12V50W ?亮度鹵素?zé)粽彰餮b置
孔徑光闌(電動(dòng) ?  可調(diào)?)、視場(chǎng)光闌(固定 ?  帶對(duì)焦?標(biāo))
可插??孔光闌滑塊(OPTION)
可插? ?25mm 濾光?(NCB 、ND2 、ND4)、起偏器 / 檢偏器
觀察?法:明場(chǎng)、暗場(chǎng)、簡(jiǎn)易偏光、微分?涉、反射熒光(僅?于 L200ND)
透射照明部
12V50W ?亮度鹵素?zé)粽彰餮b置
內(nèi)置孔徑光闌
內(nèi)置 LWD 聚光器
表?USB × 1 、RS232C  (INTENSILIGHT ?)× 1
鏡筒L2-TTA 超?視場(chǎng)正?調(diào)傾式三?鏡筒(視? 0°~30°)
視場(chǎng)數(shù) 25、光分光 100:  0/0:  100
L2-TT2A 超?視場(chǎng)正?調(diào)傾式三?鏡筒(俯? 0°~30°)
視場(chǎng)數(shù) 25、分光? 100:  0/20:  80
LV-TI3  正?三?鏡筒
視場(chǎng)數(shù) 25、光分光 100:  0/0:  100
?鏡CFI ?鏡
物鏡CFI60 系統(tǒng)物鏡
載物臺(tái)L2-S8A  8×8 載物臺(tái)、?程 205mm ×205mm  (透射觀察范圍:  150mm×150mm)
帶粗 / 微動(dòng)切換功能
微動(dòng)?輪位置固定
防靜電功能從 1000 到 10V 放電時(shí)間在 0.2 秒以內(nèi)
耗電1.2A/90W
尺?約 360  (W)× 580  (H)×860  (D)  mm
重量顯微鏡單體:約 30kg、載物臺(tái)(含鏡筒):約 45kg




ECLIPSE L300NECLIPSE L300NDECLIPSE L200NECLIPSE L200ND
(Episcopic illumination type)(Diascopic/Episcopic illumination type)(Episcopic illumination type)(Diascopic/Episcopic illumination type)
Main body12V-50W halogen lamp light source built in; Power sources for motorized control built in
Motorized control for nosepiece, Light intensity control, Aperture diaphragm control
Nosepiece: Motorized universal sextuple nosepiece with nosepiece centering functionNosepiece: Motorized universal sextuple nosepiece
Epi/Dia changeoverEpi/Dia changeover
Focusing mechanismCross travel: 29 mm
Coarse: 12.7 mm per rotation (torque adjustable, refocusing mechanism provided)
Fine: 0.1 mm per rotation (in 1μm increments)
Episcopic illuminator12V-50W halogen lamp light source built in
Motorized aperture diaphragm (centerable), Fixed field diaphragm (with focus target)
Pinhole slider (optional), Four ?25 mm filters (NCB11, ND16, ND4), Polarizer and Analyzer can be mounted
Observation methods: Brightfield, Darkfield, Simple polarizing, DIC, Epi-fluorescence*
* L300N/L300ND/L200ND only
Diascopic illuminator12V-50W halogen lamp light source built in Aperture diaphragm built in12V-50W halogen lamp light source built in Aperture diaphragm built in
LWD condenser built inLWD condenser built in
InterfaceUSB x 1, RS232C (for Intensilight) x 1
Eyepiece tubesL2-TT2A Ultrawide?eld erect-image tilting trinocular eyepiece tube (tilt angle: 0-30 °) FOV: 22/25; Beamsplit ratio 100:0/20:80
L2-TTA Ultrawidefield erect-image tilting trinocular eyepiece tube (tilt angle: 0-30 °) FOV: 22/25; Beamsplit ratio 100:0/0:100
LV-TI3 Trinocular eyepiece tube (erect image) FOV: 22/25; Beamsplit ratio 100:0/0:100
EyepiecesCFI eyepiece lens series
ObjectivesCFI LU/L Plan series
Stages14 x 12 stage, stroke: 354 x 302 mmL2-S8A 8 x 8 stage, stroke: 205 x 205 mm
(Diascopic observation range: 354 x 268 mm)(Diascopic observation range: 150 x 150 mm)
Coarse/Fine-movement changeover possibleCoarse/Fine-movement changeover possible
Fixed-position X-Y fine-movement controlsFixed-position X-Y fine-movement controls
Antistatic mechanism1000-10 V, within 0.2 sec
Power consumption1.2 A/90 W1.2 A/90 W
DimensionsApprox. 360 (W) x 951 (D) x 581 (H) mm (at tilt angle 10 °)Approx. 360 (W) x 860 (D) x 580 (H) mm (at tilt angle 10 °)
WeightApprox. 40 kg (Body only)Approx. 30 kg (Body only)
Approx. 64 kg (When L2-S8A 8 x 8 stage and L2-TTA eyepiece tube are used)Approx. 45 kg (When L2-S8A 8 x 8 stage and L2-TTA eyepiece tube are used)




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