Park NX-Wafer 為在線晶圓廠計量提供高生產率和強大特性高吞吐量晶圓廠檢測和分析溝設槽備寬前度端、模深塊度（E和F角EM度）測用量于的自自動動晶數(shù)圓據(jù)傳采送集和分析

為在線晶圓廠計量提供高生產率和強大特性

高吞吐量晶圓廠檢測和分析

溝設槽備寬前度端、模深塊度（E和F角EM度）測用量于的自自動動晶數(shù)圓據(jù)傳采送集和分析

精確的亞埃級表面粗糙度控制

真界實最非低接噪觸音模低式至使0得.5參A數(shù)rm相S關·遍結布果整具個有晶免圓疫區(qū)性域 保比持其探他針AF針M有尖1的0銳倍度-20以倍達的到更表長面的粗探糙針度壽精命度

全自動化高吞吐量缺陷成像

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詳情：

Park AFM NX-Wafer Brochure-中文.pdf