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自感應(yīng)探針原子力顯微鏡(兼容型)

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產(chǎn)品型號(hào):WinSPM B? 多功能原子力顯微鏡? 采用壓電自感應(yīng)探針? 兼容激光檢測(cè)型探針? 技術(shù)、融合

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介:

兼容自感應(yīng)探針和激光檢測(cè)探針的原子力顯微鏡(AFM),技術(shù)、融合??煞謩e單獨(dú)實(shí)現(xiàn)形貌成像分析、譜曲線測(cè)量等功能,廣泛應(yīng)用于教育和研究領(lǐng)域。


儀器特點(diǎn)

  • 兼容基于石英音叉的壓電自感應(yīng)探針(如Akiyama探針)和激光檢測(cè)探針。

  • 采用自感應(yīng)探針可實(shí)現(xiàn)頻率調(diào)制模式的形貌成像和力梯度-距離曲線測(cè)量分析。

  • 采用激光檢測(cè)探針可實(shí)現(xiàn)接觸和輕敲模式的形貌成像和各種譜測(cè)量分析功能。

  • 采用高精度嵌入式測(cè)控系統(tǒng),主機(jī)隔音抗震設(shè)計(jì),抗干擾能力強(qiáng)。

  • 可擴(kuò)展納米加工、掃描隧道顯微鏡、靜電力顯微鏡等掃描探針顯微鏡功能。

  • 可通過選配模塊和擴(kuò)展接口增強(qiáng)系統(tǒng)功能。



主要技術(shù)參數(shù)

  • 一鍵式快速自動(dòng)進(jìn)樣,行程23mm,最小步距50nm。

  • 手動(dòng)調(diào)節(jié)樣品檢測(cè)位置,調(diào)節(jié)范圍±10.0mm。

  • 樣品尺寸的直徑20mm,厚度20mm。

  • 標(biāo)配管型掃描器,掃描范圍約為20μm×20μm×5μm。

  • 樣品逐行掃描成像,掃描成像速率0.1-30行/秒。

  • 一次掃描多幅圖像,圖像分辨高達(dá)1024×1024物理象素。

  • 自感應(yīng)探針采用頻率調(diào)制模式,數(shù)字化PID反饋控制的響應(yīng)時(shí)間為10μs。

  • 嵌入式測(cè)控系統(tǒng)采用主頻為450MHz的雙核處理器(ARM + DSP),內(nèi)置數(shù)?;旌辖Y(jié)構(gòu)的鎖相放大器,與上位機(jī)連接采用以太網(wǎng)TCP/IP通訊協(xié)議。



標(biāo)準(zhǔn)配置:

  • 主控制器

  • 主機(jī)底座及隔音罩

  • 主機(jī)探頭及探針架(A型和L型)

  • 手動(dòng)樣品調(diào)節(jié)臺(tái)(調(diào)節(jié)范圍±10.0mm)

  • 管型掃描器(掃描范圍20μm)

  • 計(jì)算機(jī)及專用測(cè)控軟件

  • 儀器附件


A型探針架

(上:正面;下:背面)


L型探針架

(上:正面;下:背面)



選配模塊:

  • 掃描隧道顯微鏡(STM)模塊,包括:掃描隧道顯微鏡的硬件與軟件、STM探針架 

  • 納米加工模塊,包括:圖形化納米加工、機(jī)械刻蝕、矢量掃描等功能

  • 輔助觀察光學(xué)顯微鏡系統(tǒng):物鏡倍數(shù):0.7X~4.5X;總放大倍數(shù):42-266X連續(xù)可調(diào)(14”有效顯示面積);工作距離:115mm

  • 管型掃描器模塊:掃描范圍有8μm、20/30μm和100μm共3種規(guī)格

  • 平面閉環(huán)掃描器:掃描范圍為30μm×30μm×9μm

  • 導(dǎo)電原子力顯微鏡(C-AFM)

  • 靜電力顯微鏡(EFM)

  • 磁力顯微鏡(MFM)



應(yīng)用領(lǐng)域及實(shí)驗(yàn)

  • 實(shí)驗(yàn)一:原子力顯微鏡基本原理與操作,典型的應(yīng)用領(lǐng)域?yàn)榧{米科技、教育培訓(xùn),包括:納米表征研究、物理演示實(shí)驗(yàn),特別是2種探針成像技術(shù)的對(duì)比性實(shí)驗(yàn)。

  • 實(shí)驗(yàn)二:基于自感應(yīng)探針原子力顯微鏡的形貌成像和譜測(cè)量分析,典型實(shí)驗(yàn)內(nèi)容包括:軟磁盤、光盤、光柵等常規(guī)樣品的、頻率調(diào)制模式的形貌成像分析、納米臺(tái)階的測(cè)量和力梯度譜曲線的測(cè)量與分析。

  • 實(shí)驗(yàn)三:基于激光檢測(cè)探針原子力顯微鏡的形貌成像和譜測(cè)量分析,典型實(shí)驗(yàn)內(nèi)容包括:軟磁盤、光盤、光柵等常規(guī)樣品接觸模式和輕敲模式的形貌成像分析、各種譜曲線的測(cè)量與分析。

  • 實(shí)驗(yàn)四:掃描隧道顯微鏡(STM),包括形貌成像和隧道譜。(需增配STM模塊)

  • 實(shí)驗(yàn)五:納米加工實(shí)驗(yàn),如圖形化納米刻蝕實(shí)驗(yàn)。(需增配納米加工模塊) 

  • 實(shí)驗(yàn)六:其它基于特殊針尖或?qū)嶒?yàn)方法的原子力顯微鏡的應(yīng)用領(lǐng)域,包括:導(dǎo)電原子力顯微鏡(C-AFM)、靜電力顯微鏡(EFM)、磁力顯微鏡(MFM)等。(需增配或定制相應(yīng)的功能模塊)。

儀器整體照片

光柵形貌圖(20×20μm)

磁盤形貌圖(3×3μm)



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