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深紫外飛秒激光器

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以可調(diào)諧的鎖模鈦寶石激光器作為基頻光源，經(jīng)過多級倍頻/和頻來產(chǎn)生 192-200nm 波段的深紫外 超短脈沖激光

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深紫外飛秒激光器概述

以可調(diào)諧的鎖模鈦寶石激光器作為基頻光源，經(jīng)過多級倍頻/和頻來產(chǎn)生192-200nm波段的深紫外超短脈沖激光（圖1）。
深紫外飛秒激光器
圖1. 192-200 nm超短脈沖激光產(chǎn)生方案示意圖
基于基頻光源的不同選擇，激光波長還可以實現(xiàn)大范圍的調(diào)諧，最大范圍可覆蓋192-300 nm波段，且連續(xù)可調(diào)。另外還可輸出覆蓋二次諧波(375-500 nm)、三次諧波（（230-300 nm）波段的可見、紫外超短脈沖激光。
另外，基頻光源也可選擇1 μm波段（1064 nm、1030 nm）鎖模激光器，可獲得四次諧波（~260 nm）和五次諧波（~210 nm）的紫外激光。
深紫外飛秒激光器
圖2. 激光器實物圖（192-300 nm連續(xù)調(diào)諧，尺寸1300*600*200mm3，不含基頻源）
技術特點：
· 覆蓋深紫外、紫外、可見光的大范圍波長調(diào)諧
· 電動控制波長調(diào)諧
· 高指向穩(wěn)定性
· 圖形化人機交互界面
· 波長可擴展
深紫外飛秒激光器應用領域：
· 超快光譜探測
· 高精密激光加工
· 熒光壽命探測
· 非線性光學
2. 基頻光源技術參數(shù)
典型的基頻光源可選擇Coherent公司CHAMELEON 系列鈦寶石激光器或Spectra-Physics公司的Maitai HP系列激光器。主要技術指標如下：
技術指標典型參數(shù)
波長 780 nm或波長可調(diào)諧 根據(jù)需求固定激光波長，或可調(diào)波長
脈沖寬度100 fs、50 fs
重復頻率 80 MHz
光束質(zhì)量M2<1.3
功率 ~2.5W@780 nm 取決于最終需求的深紫外激光功率，2.5W基頻光對應于約4mW的195nm激光功率
3. 輸出技術指標
（1）195 nm激光輸出功率約4 mW（基頻功率>2.5W@780nm）.
（2）195 nm激光輸出功率約0.5 mW（基頻功率>1.4W@780nm）
技術指標典型參數(shù)
波長195nm或波長可調(diào)諧192-300nm根據(jù)需求固定激光波長，或可調(diào)波長
脈沖寬度~500fs@266nm基頻光脈沖寬度100fs時測試結果
重復頻率80MHz
功率~4mW@195nm典型調(diào)諧功率見下圖（（基于MaitaiHP基頻源測試）

深紫外飛秒激光器
圖3.各波段激光輸出功率：
（a）二次諧波；（b）直接四次諧波；（c）三次諧波；（d）四次諧波（和頻）。



北京卓立漢光儀器有限公司

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