主要特征：
• 三軸導(dǎo)軌均采用高精度自潔式空氣軸承，運動更平穩(wěn)，導(dǎo)軌受磨損。
• 三軸均采用高精度增量式金屬光柵尺。
• Y軸采用整體燕尾式導(dǎo)軌，在降低機器重量的同時，有效消除了運動扭擺，保證了測量精度和穩(wěn)定性。
• 采用RENISHAW的控制系統(tǒng)，保證了機器的動態(tài)性能和測量精度。
• 各運動軸均采用直流伺服驅(qū)動，確保運動的平穩(wěn)和準(zhǔn)確。
• X向采用精密三角梁技術(shù)，相比矩形梁和橫梁，重心更低，質(zhì)量剛性比，運動更加可靠。
• 軟件為Serein Dmis，經(jīng)濟易學(xué)實用。
規(guī)格型號與技術(shù)指標(biāo)：