高畫質(zhì)的鎢燈絲掃描電鏡, 圖象質(zhì)量更進一步。
通過高畫質(zhì)提升掃描電鏡的分析能力和操作性, 凝聚日立科技“匠心”。
SU3500鎢燈絲掃描電鏡具有實現(xiàn)了“3kV加速電壓7nm分辨率”的全新電子光學(xué)系統(tǒng), 可實現(xiàn)實時立體成像的“實時立體觀察功能”＊1, 以及更高檢測效率的 “UVD超高靈敏度可變壓力檢測器”＊1。
它為觀察和分析提出了嶄新的標(biāo)準(zhǔn)。
*1：自選
· 低加速電壓觀察時分辨率更高，可更好地觀察樣品最表面的細(xì)微形狀和更有效地降低樣品的損壞
· 全新設(shè)計的電子光學(xué)系統(tǒng)和信號處理技術(shù)實現(xiàn)了高速掃描和低噪音的觀察
· 和以前的常規(guī)掃描電子顯微鏡相比＊2，自動功能縮短＊3了大約11秒
· 具有在低真空時可以非常好地觀察樣品最表面的細(xì)微形狀的“UVD（超高靈敏度可變壓力探測器）”＊4
· 具有實現(xiàn)了實時立體成像的“實時立體觀察功能”＊4
（*2）：和日立SEM S-3400N相比
（*3）：根據(jù)觀察條件的不同，時間會有變動
（*4）：自選
規(guī)格
項目 | 描述 |
二次電子分辨率 | 3.0nm（加速電壓=30kV，WD=5mm高真空模式） |
7.0nm（加速電壓=3kV，WD=5mm高真空模式） |
背散射電子分辨率 | 4.0nm（加速電壓=30kV，WD=5mm低真空模式） |
10.0nm（加速電壓=5kV，WD=5mm高真空模式） |
放大倍率 | 5 - 300,000倍（底片倍率＊5） |
7 - 800,000倍（顯示器顯示倍率＊6） |
加速電壓 | 0.3 - 30kV |
可變壓力范圍 | 6 - 650Pa |
樣品尺寸 | 直徑 200mm |
樣品臺 | X | 0 - 100mm |
Y | 0 - 50mm |
Z | 5 - 65mm |
R | 360° |
T | -20° - 90° |
可觀察區(qū)域 | 直徑 130mm （旋轉(zhuǎn)并用） |
樣品高度 | 80mm（WD=10mm） |
馬達臺 | 5軸標(biāo)配 |
電子光學(xué)系統(tǒng) | 電子槍 | 預(yù)對中的鎢燈絲 |
物鏡光闌 | 4孔可動光闌 |
探檢測器 | 埃弗哈特 索恩利 二次電子探測器 |
高靈敏度半導(dǎo)體背散射電子檢測器 |
EDX分析 WD | 10mm（取出角35°） |
圖像顯示 | 操作系統(tǒng) | Windows® 7＊7（如有更改，恕不另行通知） |
圖像顯示模式 | 全屏模式（1,280 × 960 像素） |
小屏模式（800 × 600 像素） |
雙圖像顯示（800 × 600 像素） |
四屏幕顯示（640 × 480像素） |
信號混合模式 |
排氣系統(tǒng) | 操作 | 全自動排氣 |
渦輪分子泵 | 210升/秒 × 1 |
機械泵 | 135L/min（162L/min，60Hz）× 1 |
（*2）：以127mm×95mm（圖像尺寸4"×5"）的顯示尺寸規(guī)定倍率
（*3）：以345mm×259mm（像素1,280×960）的顯示尺寸規(guī)定倍率
（*4）：Windows®是微軟公司在美國和其他國家的注冊商標(biāo)
