αL4X-911R1主動式隔振平臺是結(jié)合了空壓（低頻）和線性馬達（高頻）的兩種優(yōu)點，專為掃描電子顯微鏡而設計的高精密隔振平臺。

本主動隔振系統(tǒng)可將影響儀器設備正常工作的安裝場地的細微振動，在所有頻率范圍內(nèi)予以全面衰減而不降低儀器設備本身具有的各項性能。

αL4X-911R1的基本原理和功能

利用加速度傳感器檢測地板的振動，通過6自由度的反饋及前饋控制的雙重主動控制，由氣動和線性馬達執(zhí)行器來實現(xiàn)振動衰減，消除影響電子顯微鏡正常工作的安裝場地的細微振動，滿足電子顯微鏡廠商提供的允許振動值。

技術參數(shù)：