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αL4X-911R1 主動隔振系統(tǒng)（電子顯微鏡、半導(dǎo)體設(shè)備專用）

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公司名稱 上海良允科學(xué)儀器有限公司
品牌
型號 αL4X-911R1
所在地 上海市
廠商性質(zhì) 其他
更新時(shí)間 2024/3/7 18:35:28
訪問次數(shù) 115

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2020年01月08日至 2020年02月08日

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模內(nèi)澆口分離自動化，降低對人的依賴度；傳統(tǒng)的塑膠模具開模后產(chǎn)品與澆口相連，需二道工序進(jìn)行人工剪切分離，模內(nèi)熱切模具將澆口分離提前至開模前，消除后續(xù)工序，有利于生產(chǎn)自動化，降低對人的依賴。

日本特許機(jī)器株式會社（TOKKYOKIKI)成立于1969年，是世界防振、消磁產(chǎn)品的制造商，一臺主動式除振裝置實(shí)用機(jī)由TOKKYOKIKI于1988年在日本半導(dǎo)體展示會上推出，TOKKYOKIKI一直致力研究，精密穩(wěn)定，堅(jiān)固耐用的防振產(chǎn)品、振動分析儀器和各行業(yè)防振設(shè)備，以滿足各領(lǐng)域不同產(chǎn)業(yè)的不同需求

詳細(xì)信息在線詢價(jià)

αL4X-911R1主動式隔振平臺是結(jié)合了空壓（低頻）和線性馬達(dá)（高頻）的兩種優(yōu)點(diǎn)，專為掃描電子顯微鏡而設(shè)計(jì)的高精密隔振平臺。

本主動隔振系統(tǒng)可將影響儀器設(shè)備正常工作的安裝場地的細(xì)微振動，在所有頻率范圍內(nèi)予以全面衰減而不降低儀器設(shè)備本身具有的各項(xiàng)性能。

αL4X-911R1的基本原理和功能

利用加速度傳感器檢測地板的振動，通過6自由度的反饋及前饋控制的雙重主動控制，由氣動和線性馬達(dá)執(zhí)行器來實(shí)現(xiàn)振動衰減，消除影響電子顯微鏡正常工作的安裝場地的細(xì)微振動，滿足電子顯微鏡廠商提供的允許振動值。

技術(shù)參數(shù)：

名稱	技術(shù)參數(shù)和指標(biāo)
主動隔振平臺	標(biāo)準(zhǔn)外形尺寸：902×1102×152（浮起時(shí)155）mm 其他尺寸可定制
主動隔振單元	內(nèi)含加速度傳感器，位移傳感器及空氣伺服閥。
隔振范圍	0.5Hz~100Hz
隔振效果（值）	0.5Hz~1Hz：≤-20dB
	1Hz~10Hz：-20dB ≤-40dB
	10Hz以上：≥ -40dB
加速度傳感器	頻率范圍：DC-400Hz
	最小分辨率：≤1*10-6m/sec2
	耐沖擊參數(shù)：1000m/sec2
位移傳感器	最小分辨率：≤3um
位移傳感器	行程范圍：1-5mm
控制器	輸入/輸出控制信號采樣頻率
	加速度：2000Hz 位移：125Hz
	分辨率輸入：18bit 輸出：16bit