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多模態(tài)顯微成像缺陷檢測(cè)儀

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多模態(tài)顯微成像缺陷檢測(cè)儀(ModelMDI-2000),是一款把激光散射掃描成像、明暗場(chǎng)光學(xué)成像、光熱顯微成像三種技術(shù)集成在一起,三位一體,模式自動(dòng)切換,一鍵式全自動(dòng)操作,特別適合超精密加工工藝的研究以及強(qiáng)激光元件質(zhì)量評(píng)價(jià)

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多模態(tài)顯微成像缺陷檢測(cè)儀(Model MDI-2000),是一款把激光散射掃描成像、明暗場(chǎng)光學(xué)成像、光熱顯微成像三種技術(shù)集成在一起,三位一體,模式自動(dòng)切換,一鍵式全自動(dòng)操作,特別適合超精密加工工藝的研究以及強(qiáng)激光元件質(zhì)量評(píng)價(jià)。

產(chǎn)品特征

1、高速度;

2、高靈敏度;

3、 高重復(fù)性;

4、一鍵式全自動(dòng)操作;

5、樣品更換便捷、無需重復(fù)校準(zhǔn)。

主要技術(shù)參數(shù)
多模態(tài)顯微成像缺陷檢測(cè)儀

檢測(cè)方式

全自動(dòng)

激光散射缺陷尺寸靈敏度

50nm(硅) ,200nm(石英)

光學(xué)明場(chǎng)暗場(chǎng)成像分辨率

亞微米(標(biāo)配),可以優(yōu)于500nm(選項(xiàng))

光熱顯微成像分辨率

亞微米(標(biāo)配),可以優(yōu)于500nm(選項(xiàng))

注:可以根據(jù)客戶需求提供同類特制儀器和相關(guān)測(cè)試的解決方案,包括大尺寸元件解決方案。



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