多模態(tài)顯微成像缺陷檢測儀(Model MDI-2000)，是一款把激光散射掃描成像、明暗場光學(xué)成像、光熱顯微成像三種技術(shù)集成在一起，三位一體，模式自動切換，一鍵式全自動操作，特別適合超精密加工工藝的研究以及強(qiáng)激光元件質(zhì)量評價。

1、高速度；

2、高靈敏度；

3、 高重復(fù)性；

4、一鍵式全自動操作；

5、樣品更換便捷、無需重復(fù)校準(zhǔn)。

注：可以根據(jù)客戶需求提供同類特制儀器和相關(guān)測試的解決方案，包括大尺寸元件解決方案。