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CV-3100S4輪廓儀測(cè)量?jī)x

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大幅度提高了驅(qū)動(dòng)速度(X軸:80mm/sZ2軸:20mm/s),近一步降低了總測(cè)量時(shí)間

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  • 大幅度提高了驅(qū)動(dòng)速度(X軸:80mm/s Z2軸:20mm/s),近一步降低了總測(cè)量時(shí)間。
  • 為了在一定時(shí)段內(nèi)維持儀器的直線度精度規(guī)格,三豐公司才用了具有的耐摩擦性及穩(wěn)定性的高硬度陶瓷導(dǎo)軌。
  • 大量的外圍設(shè)備支持CNC模式,從而可以很容易實(shí)現(xiàn)CNC測(cè)量。
  • 驅(qū)動(dòng)裝置(X軸)和立拄(Z2軸)中集成了高精度光柵尺(Z2軸為ABS型),從而提高了在垂直方向持續(xù)自動(dòng)測(cè)量小孔和不易定位工件的重復(fù)精度。
  • X軸精度:±(0.8+0.01L)μm Z1軸精度:±(0.8+|0.5H|/25)μm *(CV-4100S4、H4、W4),針對(duì)高精度工件的測(cè)量所設(shè)計(jì)。 L為驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度 H為測(cè)量高度
  • CV-4100系列的驅(qū)動(dòng)裝置集成了Laser Hologage檢位器,在Z軸(垂直方向)的窄/寬測(cè)量范圍內(nèi),提供的精度和分辨率。
技術(shù)參數(shù)
X軸
測(cè)量范圍
100mm
分辨率
0.05um
檢測(cè)方法
反射型線性編碼器
驅(qū)動(dòng)速度
80mm/s和手動(dòng)
測(cè)量速度
0.02-5mm/s
移動(dòng)方向
向前/向后
直線度
0.8um/100mm,2um/200mm
*當(dāng)X軸在水平方向上
指示精度
(20°C時(shí))
± (1+0.01L)um
*L為驅(qū)動(dòng)長(zhǎng)度(mm)
傾斜范圍
±45°
Z2軸(立柱)
垂直行程
300mm
分辨率
1um
檢測(cè)方法
ABSOLUTE線性編碼器
驅(qū)動(dòng)速度
0-20mm/s和手動(dòng)
Z1軸(檢測(cè)器)
測(cè)量范圍
±25mm
分辨率
0.2um
檢測(cè)方法
線性編碼器
指示精度
(20°C時(shí))
± (2+|4H|/100)um
*H為水平位置上的測(cè)量高度(mm)
測(cè)針上/下運(yùn)作
弧形運(yùn)動(dòng)
測(cè)針方向
向上/向下
測(cè)力
30mN
跟蹤角度
向上:77°、向下:87°(根據(jù)表面粗糙度,使用標(biāo)準(zhǔn)單切面測(cè)針)
測(cè)針針尖
半徑:25um、硬質(zhì)合金針尖
電源
100-240VAC±10%,50/60Hz


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