正入射太赫茲鏡頭主要由太赫茲信號(hào)發(fā)射端、太赫茲信號(hào)接收端、共線適配單元組成。其中，采用光路復(fù)用的光學(xué)系統(tǒng)，可以大大提高模塊的集成度，且光軸垂直于樣品入射，可以使得系統(tǒng)擁有更大的景深；太赫茲信號(hào)發(fā)射端、太赫茲信號(hào)接收端可以進(jìn)行短距調(diào)焦，以矯正光學(xué)系統(tǒng)的誤差，保證太赫茲信號(hào)強(qiáng)度；共線適配單元內(nèi)部設(shè)計(jì)有特殊的消雜光結(jié)構(gòu)，避免二次反射太赫茲信號(hào)對(duì)于測(cè)試精度的影響。