商品描述·100,200或300原子量·分辨率優(yōu)于1原子單位（amu）·6個數(shù)量級動態(tài)范圍·5×10-14Torr檢測限·RGAWindowsLabVIEW軟件·支持探頭操作·現(xiàn)場可更換的燈絲和離化器·RS-232界面RGA系列殘余氣體分析儀SRS的100、200和300amu殘余氣體分析儀提供的性能和價值
·100, 200或300原子量
·分辨率優(yōu)于1原子單位（amu）
·6個數(shù)量級動態(tài)范圍
·5×10-14 Torr檢測限
·RGA Windows & LabVIEW軟件
·支持探頭操作
·現(xiàn)場可更換的燈絲和離化器
·RS-232 界面
RGA 系列
SRS 的 100、200 和 300 amu 殘余氣體分析儀提供的性能和價值。這些 RGA 提供真空系統(tǒng)的詳細氣體分析，價格僅為競爭型號的一半。每個 RGA 系統(tǒng)都配有一個四極桿探頭、電子控制單元 (ECU) 和一個用于數(shù)據采集和分析以及探頭控制的實時 Windows 軟件包。
堅固的探頭設計
探頭由離子發(fā)生器、四極濾質器和檢測器組成。簡單的設計具有少量零件，可限度地減少放氣并減少將雜質引入真空系統(tǒng)的機會。探頭組件堅固耐用，可安裝在標準
緊湊型電子控制單元
密集封裝的 ECU 包含用于控制 RGA 頭的所有必要電子設備。它由外部 +24 VDC (2.5 A) 電源或插入交流電源插座的可選內置電源模塊供電。LED 指示燈提供有關電子倍增器、燈絲、電子系統(tǒng)和探頭狀態(tài)的即時反饋。ECU 可以很容易地從探頭上拆下，以進行高溫烘烤。
的燈絲設計
長壽命的雙釷銥 (ThO 2 /Ir) 燈絲用于電子發(fā)射。
電子倍增器
法拉第杯探測器是 SRS RGA 系統(tǒng)的標準配置，可以測量
加熱套
O100HJRW 加熱器護套配有 Watlow EHG SL10 過程控制器，可提供 210 °C (±3 °C) 的預編程溫度。加熱器護套采用 PTFE (Teflon) 結構制成，由于其低釋氣和無顆粒操作，適用于潔凈室應用。O100HJRW 提供 120 VAC 和 220 VAC 版本，并隨附目的地國家/地區(qū)的電源線。
有用的功能
所有 RGA 都具有內置的脫氣功能。使用電子沖擊解吸，清潔離子源，大大降低了離子發(fā)生器對背景噪聲的影響。
固件驅動的燈絲保護功能持續(xù)監(jiān)控（675 Hz）過壓。如果檢測到過壓，燈絲會立即關閉，以保持其使用壽命。
可編程性
通過
RGA 視窗軟件
RGA 系統(tǒng)由在 PC 上運行的實時 Windows 軟件包提供支持。直觀的圖形用戶界面允許快速輕松地進行測量。該程序是交互式的，使用戶可以控制圖形顯示。可拆分屏幕進行雙模式操作，刻度可設置為線性或對數(shù)格式，數(shù)據可手動或自動縮放。實時捕獲和顯示數(shù)據，或計劃在給定的時間間隔內采集數(shù)據，以進行長期數(shù)據記錄。功能包括用戶可選擇的單位（Torr、mbar、Pa 和 A）、可編程的音頻和視覺警報以及全面的在線幫助。
該軟件還允許通過簡單的質量標度調整、靈敏度校準、離子發(fā)生器設置和電子倍增器增益調整實現(xiàn)完整的 RGA 磁頭控制。為了進一步分析，可以將數(shù)據文件保存為 ASCII 格式，以便輕松傳輸?shù)诫娮颖砀裰小?/span>圖形圖像可以保存為 META 文件或復制到剪貼板以直接導入其他 Windows 程序。該軟件還為鎖定頭部參數(shù)提供密碼保護，使臨時用戶無法更改重要設置。SRS 網站上還提供了 LabVIEW 驅動程序。
可選的獨立監(jiān)視器 (PPM100) 可用于在沒有主機的情況下控制 RGA。
多頭操作
當需要多個 RGA 時，該軟件支持多頭操作。該軟件最多可監(jiān)控 8 個 ECU。
性能和價值
SRS 系列 RGA 非常適合涉及氣體分析、泄漏檢測和真空處理的應用。我們提供 100、200 和 300 amu 系統(tǒng)，支持 Windows 軟件和選項，包括電子倍增器和用于交流線路操作的內置電源模塊。
RGA 系列規(guī)格
操作
質量范圍
RGA1001 到 100 amu
RGA2001 到 200 amu
RGA3001 至 300 amu
質量過濾器類型四極桿
探測器類型法拉第杯 - 標準。
電子倍增器 - 選擇。
解決優(yōu)于 0.5 amu @ 10 % 峰高（根據 AVS 標準 2.3）。在整個質量范圍內可調至恒定峰寬。
靈敏度 (A/Torr)2 × 10 -4 (FC),<200 (EM)。
用戶可在整個高壓范圍內調節(jié)。用 N 2 @ 28 amu 測量，1 amu 全峰寬、10 % 高度、70 eV 電子能量、12 eV 離子能量和 1 mA 電子發(fā)射電流。
分鐘?？蓹z測分
壓5 × 10 -11 托 (FC)。
5 × 10 -14 托 (EM)。
用 N 2 @ 28 amu 測量，1 amu 全峰寬、10 % 高度、70 eV 電子能量、12 eV 離子能量和 1 mA 電子發(fā)射電流。
運營壓力10 -4 Torr 到 UHV (FC)
10 -6 Torr 到 UHV (EM)
限度。工作溫度70℃
烘烤溫度300 °C（不帶 ECU）
離子發(fā)生器
設計開放式離子源，圓柱對稱，電子碰撞電離。
材料SS304 結構
燈絲具有固件保護的釷銥（雙）。內置1 至 10 W脫氣加速?，F(xiàn)場可更換。
電子能量25 至 105 V，可編程
離子能量8 或 12 V，可編程
聚焦電壓0 至 150 V，可編程
電子發(fā)射電流0 至 3.5 mA，可編程
一般的
探頭尺寸8.75" 從法蘭面到離子發(fā)生器頂部
探頭插入2.0"
探頭安裝法蘭2.75" CF
最小管內徑1.375"
ECU尺寸9.1" × 4.1" × 3.1" (WHL)
可輕松與探頭分離以進行烘烤。
LED指示燈電源開/關、燈絲開/關、脫氣開/關、電子倍增器開/關、RS-232 忙、錯誤、過壓、燈絲燒毀。
熱身時間30 分鐘后質量穩(wěn)定性 ±0.1 amu
電腦接口RS-232C，28,800 波特，帶高級命令集
軟件基于 Windows 的應用程序
電力需求24 VDC @ 2.5 安培。公 DB9 連接器。
可選的 110/120/220/240 VAC 適配器。
重量6 磅。
保修單一年零件和人工材料和工藝缺陷
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