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PPR系列過程檢測系統(tǒng)2

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公司名稱 北京埃光科技有限公司
品牌
型號
所在地 北京市
廠商性質(zhì) 其他
更新時(shí)間 2024/2/21 15:09:13
訪問次數(shù) 45

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2020年01月08日至 2020年02月08日

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模內(nèi)澆口分離自動化，降低對人的依賴度；傳統(tǒng)的塑膠模具開模后產(chǎn)品與澆口相連，需二道工序進(jìn)行人工剪切分離，模內(nèi)熱切模具將澆口分離提前至開模前，消除后續(xù)工序，有利于生產(chǎn)自動化，降低對人的依賴。

商品描述·0.01、0.1、1.0或10Torr入口壓力·3×10-5Torr-L/s流量·2秒響應(yīng)時(shí)間(0.1Torr)·100、200或300amu系統(tǒng)·6個(gè)數(shù)量級的動態(tài)范圍·RGAWindows軟件PPR系列過程監(jiān)控系統(tǒng)PPR過程監(jiān)控系統(tǒng)專為在線過程監(jiān)控和診斷而設(shè)計(jì)

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商品描述

·0.01、0.1、1.0 或 10 Torr 入口壓力

·3 × 10 -5 Torr-L/s 流量

·2 秒響應(yīng)時(shí)間 (0.1 Torr)

·100、200 或 300 amu 系統(tǒng)

·6個(gè)數(shù)量級的動態(tài)范圍

·RGA Windows 軟件

PPR 系列過程監(jiān)控系統(tǒng)

PPR 過程監(jiān)控系統(tǒng)專為在線過程監(jiān)控和診斷而設(shè)計(jì)。為殘余氣體分析儀 (RGA) 提供了兩條路徑：用于監(jiān)測基礎(chǔ)真空的高電導(dǎo)率路徑和用于在工作壓力下監(jiān)測過程的減壓路徑。減壓路徑包含一個(gè)微孔，設(shè)計(jì)用于在以下壓力之一下運(yùn)行：0.01、0.1、1 或 10 托。它將樣品壓力降低到 RGA 的工作壓力（約10-6 Torr）。該壓降由由混合渦輪分子泵和隔膜泵組成的泵送系統(tǒng)維持。兩個(gè)泵都是無油的，不會污染您的過程。

連接到您的工藝室的入口組件可以通過多種方式進(jìn)行配置（參見圖紙）。該系統(tǒng)包括 RGA、旁通閥組件和三通、控制器、渦輪泵、隔膜泵和用于數(shù)據(jù)采集和控制的 Windows 軟件程序。

該軟件用于在各種模式下操作儀器，包括模擬掃描、直方圖模式和壓力與時(shí)間模式。法拉第杯和電子倍增器探測器都是 PPR 系統(tǒng)的標(biāo)準(zhǔn)配置。電子倍增器提供額外的靈敏度和更高的掃描速度。PPR 系統(tǒng)在出廠時(shí)已組裝和校準(zhǔn)，可以連接到您的真空處理室。

幾何A

幾何 B

PPR 規(guī)格
表現(xiàn)
氣體流量	3 × 10 -5 mbar-L/s，減壓入口處于活動狀態(tài)
響應(yīng)時(shí)間	0.1 mbar 入口壓力下 2 秒（隨壓力成線性比例）
啟動時(shí)間	標(biāo)稱 8 分鐘
連接
進(jìn)口	2.75" CF法蘭，帶通孔可旋轉(zhuǎn)
渦輪泵到控制器	6 英尺電纜（已提供）
渦輪增壓到前級泵	6 英尺軟管（提供）， 1/4" ID × 7/16" OD
電腦接口	RS-232C（28,800 波特，9 針 D 連接器）
軟件	RGA Windows 應(yīng)用程序
泵
高真空	混合渦輪分子/阻力泵，70 L/s，極限壓力2 × 10 -9 mbar
后盾	極限壓力小于 1 mbar 的隔膜泵。防護(hù)等級 IP44
冷卻	需要強(qiáng)制風(fēng)冷
一般的
電源要求	110 VAC @ 60 Hz， 220 VAC @ 50 Hz （不可現(xiàn)場選擇，300 W）
方面	因配置而異（請參閱示例配置）
重量	16 磅。（渦輪泵、旁通閥和三通，RGA） 33 磅。（隔膜泵和控制器）
保修單	一年零件和人工材料或工藝缺陷。泵密封件和隔膜的保修期為 90 天。