QMS 系列氣體分析儀為廣泛的應(yīng)用提供高效、經(jīng)濟(jì)的解決方案。這些質(zhì)譜儀簡(jiǎn)化了在線過程監(jiān)測(cè)、氣體種類分析、泄漏檢測(cè)和故障排除的任務(wù)。

在線監(jiān)測(cè)

QMS 系統(tǒng)可以以每分鐘幾毫升的流速連續(xù)采樣氣體。入口可配備在 1 bar 至 10 mbar 的壓力下進(jìn)行采樣。與氣相色譜儀采用的批量采樣相反，數(shù)據(jù)是連續(xù)采集的。QMS 的快速響應(yīng)時(shí)間不到 0.5 秒。可以在幾秒鐘內(nèi)記錄完整的光譜，并且可以以高達(dá)每秒 25 個(gè)點(diǎn)的速率測(cè)量單個(gè)質(zhì)量。

緊湊、用戶友好的設(shè)計(jì)

模擬模式

的四極質(zhì)譜儀設(shè)計(jì)與的泵送技術(shù)相結(jié)合，使整個(gè)系統(tǒng)可以集成在一個(gè)小型、可移動(dòng)的包裝中。采樣入口閥和泵可以從前面板控制。操作簡(jiǎn)單，不需要詳細(xì)了解四極桿或減壓入口。由于泵不含油或其他液體，因此重力對(duì)它們沒有影響，這使得該裝置可以直立或側(cè)放運(yùn)行。毛細(xì)管用作采樣探針，有多種材料和尺寸可供不同應(yīng)用使用。

工作原理

QMS 使用兩級(jí)減壓入口進(jìn)入高壓樣氣。這允許使用殘留氣體分析儀（在高真空下運(yùn)行）作為檢測(cè)器。不同的毛細(xì)管允許系統(tǒng)在更高或更低的壓力下取樣。大流量通過毛細(xì)管，使壓力下降了三個(gè)十年。混合渦輪分子/阻力泵通過孔吸入少量氣體，將壓力降低到約10 -6 Torr，而大部分流量直接繞過隔膜泵。電磁閥控制氣流。整個(gè)系統(tǒng)由微處理器控制，確保泵和閥門的正確操作。該軟件管理光譜儀并以六種不同模式選擇采集數(shù)據(jù)。可選的高真空 2.75" CF 端口提供對(duì) RGA 的直接訪問。

旁路流配置

壓力與時(shí)間模式

旁通流和樣品流在隔膜泵處重新組合，這使得僅使用一個(gè)前級(jí)泵成為可能。這有助于系統(tǒng)的小尺寸。旁通流配置對(duì)于 QMS 的快速響應(yīng)時(shí)間也很重要。使用泄漏閥的單級(jí)減壓會(huì)導(dǎo)小的流速和不合理的長(zhǎng)采樣時(shí)間。另一方面，旁路流量從毛細(xì)管到 RGA 室的響應(yīng)時(shí)間不到 0.5 秒。

視窗軟件

QMS 系統(tǒng)由在 PC 上運(yùn)行的 Windows 軟件包支持。直觀的圖形用戶界面允許快速輕松地進(jìn)行測(cè)量。實(shí)時(shí)捕獲和顯示數(shù)據(jù)，或按時(shí)間間隔安排采集數(shù)據(jù)。功能包括模擬和直方圖掃描模式、壓力與時(shí)間圖、泄漏檢測(cè)、信號(hào)器模式、氣體庫、音頻和視頻警報(bào)以及全面的在線幫助。探頭參數(shù)也可以通過高級(jí) ASCII 命令集進(jìn)行控制和監(jiān)視，該命令集可以輕松集成到用戶控制程序中。標(biāo)準(zhǔn)RS-232接口用作與主機(jī)的數(shù)據(jù)鏈路。LabVIEW 驅(qū)動(dòng)程序也可用。