RGA 系列殘余氣體分析儀
SRS 的 100、200 和 300 amu 殘余氣體分析儀提供的性能和價值。這些 RGA 提供真空系統(tǒng)的詳細氣體分析，價格僅為競爭型號的一半。每個 RGA 系統(tǒng)都配有一個四極桿探頭、電子控制單元 (ECU) 和一個用于數(shù)據(jù)采集和分析以及探頭控制的實時 Windows 軟件包。
堅固的探頭設(shè)計
 電子倍增器 |
探頭由離子發(fā)生器、四極濾質(zhì)器和檢測器組成。簡單的設(shè)計具有少量零件，可限度地減少放氣并減少將雜質(zhì)引入真空系統(tǒng)的機會。探頭組件堅固耐用，可安裝在標(biāo)準(zhǔn)2 ? 英寸CF 法蘭上。它被不銹鋼管覆蓋，但離子發(fā)生器除外，它在您的真空系統(tǒng)中只需要 2 ? 英寸的間隙——大約是標(biāo)準(zhǔn)離子計的間隙。探頭采用自對準(zhǔn)部件設(shè)計，因此可以在清潔后輕松重新組裝。
緊湊型電子控制單元
密集封裝的 ECU 包含用于控制 RGA 頭的所有必要電子設(shè)備。它由外部 +24 VDC (2.5 A) 電源或插入交流電源插座的可選內(nèi)置電源模塊供電。LED 指示燈提供有關(guān)電子倍增器、燈絲、電子系統(tǒng)和探頭狀態(tài)的即時反饋。ECU 可以很容易地從探頭上拆下，以進行高溫烘烤。
的燈絲設(shè)計
長壽命的雙釷銥 (ThO 2 /Ir) 燈絲用于電子發(fā)射。雙 ThO 2 /Ir燈絲的使用壽命比單燈絲長得多，從而限度地延長了燈絲更換之間的時間。與其他設(shè)計不同，SRS 燈絲可以在幾分鐘內(nèi)由用戶更換。
 雙釷銥絲 |
電子倍增器
法拉第杯探測器是 SRS RGA 系統(tǒng)的標(biāo)準(zhǔn)配置，可以測量10 -5到 5 × 10 -11 Torr的分壓。為了提高靈敏度和更快的掃描速率，提供了一個可選的電子倍增器，可檢測低至5 × 10 -14 Torr的分壓。這種的宏多通道連續(xù)打拿極電子倍增器 (CDEM) 提供更長的壽命和穩(wěn)定性，并且也可以由用戶更換 - 這是 RGA 的！
加熱套
O100HJRW 加熱器護套配有 Watlow EHG SL10 過程控制器，可提供 210 °C (±3 °C) 的預(yù)編程溫度。加熱器護套采用 PTFE (Teflon) 結(jié)構(gòu)制成，由于其低釋氣和無顆粒操作，適用于潔凈室應(yīng)用。O100HJRW 提供 120 VAC 和 220 VAC 版本，并隨附目的地國家/地區(qū)的電源線。
 加熱套 |
有用的功能
所有 RGA 都具有內(nèi)置的脫氣功能。使用電子沖擊解吸，清潔離子源，大大降低了離子發(fā)生器對背景噪聲的影響。
固件驅(qū)動的燈絲保護功能持續(xù)監(jiān)控（675 Hz）過壓。如果檢測到過壓，燈絲會立即關(guān)閉，以保持其使用壽命。
的溫度補償對數(shù)靜電計在單次掃描中檢測10 -7至 10 -15 安培的離子電流，精度優(yōu)于 2%。這個巨大的動態(tài)范圍意味著您可以同時測量小氣體濃度和大氣體濃度。
可編程性
通過RS-232接口與計算機進行通信。模擬和直方圖（條形圖）掃描、泄漏檢測和探頭參數(shù)都通過高級命令集進行控制和監(jiān)控。這允許輕松集成到現(xiàn)有程序中。
RGA 視窗軟件
 壓力與時間模式 |
RGA 系統(tǒng)由在 PC 上運行的實時 Windows 軟件包提供支持。直觀的圖形用戶界面允許快速輕松地進行測量。該程序是交互式的，使用戶可以控制圖形顯示。可拆分屏幕進行雙模式操作，刻度可設(shè)置為線性或?qū)?shù)格式，數(shù)據(jù)可手動或自動縮放。實時捕獲和顯示數(shù)據(jù)，或計劃在給定的時間間隔內(nèi)采集數(shù)據(jù)，以進行長期數(shù)據(jù)記錄。功能包括用戶可選擇的單位（Torr、mbar、Pa 和 A）、可編程的音頻和視覺警報以及全面的在線幫助。
該軟件還允許通過簡單的質(zhì)量標(biāo)度調(diào)整、靈敏度校準(zhǔn)、離子發(fā)生器設(shè)置和電子倍增器增益調(diào)整實現(xiàn)完整的 RGA 磁頭控制。為了進一步分析，可以將數(shù)據(jù)文件保存為 ASCII 格式，以便輕松傳輸?shù)诫娮颖砀裰小?/span>圖形圖像可以保存為 META 文件或復(fù)制到剪貼板以直接導(dǎo)入其他 Windows 程序。該軟件還為鎖定頭部參數(shù)提供密碼保護，使臨時用戶無法更改重要設(shè)置。SRS 網(wǎng)站上還提供了 LabVIEW 驅(qū)動程序。
 圖書館模式 |
可選的獨立監(jiān)視器 (PPM100) 可用于在沒有主機的情況下控制 RGA。
多頭操作
當(dāng)需要多個 RGA 時，該軟件支持多頭操作。該軟件最多可監(jiān)控 8 個 ECU。
性能和價值
SRS 系列 RGA 非常適合涉及氣體分析、泄漏檢測和真空處理的應(yīng)用。我們提供 100、200 和 300 amu 系統(tǒng)，支持 Windows 軟件和選項，包括電子倍增器和用于交流線路操作的內(nèi)置電源模塊。
