Bristol Instruments提供了一系列測厚儀產(chǎn)品，可方便地測量厚度，并具有的測量精度以及重復(fù)性，以適用于大部分的應(yīng)用需求。更重要的是，這些產(chǎn)品采用了一種極為有效的技術(shù)，即使用非接觸式光學(xué)探針進(jìn)行無損檢測，同時這種技術(shù)還可以同時測量多層膜的厚度。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
可測量硬材料和軟材料，并且不會造成損壞或變形
用于精確定位測量位置的可見光束
同時測量多達(dá)31層
測量光程： 12mm/ 40mm/80mm
測量精度： ±0.1 μm/±1μm
使用內(nèi)置的固有長度標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行連續(xù)校準(zhǔn)
測量置信水平≥99.7%
可追溯至NIST標(biāo)準(zhǔn)
測量頻率高達(dá)20赫茲
使用USB或以太網(wǎng)進(jìn)行PC通訊
提供基于Windows的光學(xué)測量軟件，用于設(shè)置測量參數(shù)和輸出測量數(shù)據(jù)
使用LabVIEW、.NET或自定義編程進(jìn)行自動數(shù)據(jù)報告，無需專用PC
軟件測量界面：
應(yīng)用領(lǐng)域：
光學(xué)元件和透鏡組件
可測量單個鏡片以及鏡頭組包括空氣間隔
隱形眼鏡和
測量中心厚度、矢高和群折射率
窺鏡
可同時測量壁厚、內(nèi)徑和外徑，管壁厚度、管頸和管錐的壁厚
LCD, LED, OLED 和AMOLED顯示屏
可測量總厚度和各層厚度，包括LOCA（液體光學(xué)透明粘合劑）層
半導(dǎo)體
硅/砷化鎵晶片
玻璃拋光
測量化學(xué)腐蝕前后的厚度或拋光工藝，使玻璃板更薄、更輕。
Optional:
Lensthick 非接觸式光學(xué)測厚儀
產(chǎn)品特點(diǎn)：
LensThick集成了Bristol非接觸式光學(xué)測厚儀，系統(tǒng)集成化程度較高，增加了電動升降臺和傾斜平移一體調(diào)節(jié)臺，將測厚儀主機(jī)和高性能工控機(jī)集成在定制機(jī)柜里，并配備了高清顯示器，此外還開發(fā)了全中文人機(jī)交互軟件，軟件可實(shí)時顯示被測試產(chǎn)品的厚度和干涉信號，以便實(shí)時調(diào)整。軟件支持自動峰值模式，使用操作員創(chuàng)建的樣品設(shè)計(jì)文件，可以定義最多32個反射面（31層）的預(yù)期峰值位置，可自動識別在的閾度內(nèi)預(yù)期峰值位置的峰值，從而計(jì)算并輸出每層的厚度。此外，軟件還帶有判據(jù)功能，即超出設(shè)計(jì)值的公差范圍，數(shù)據(jù)顯示為紅色。這些功能對質(zhì)量控制是非?？焖儆行У?。軟件還可根據(jù)用戶材料色散方程系數(shù)，自動計(jì)算出材料的群折射率并保存。針對同其它設(shè)備和產(chǎn)線集成，軟件還可通過TCP/IP形式將實(shí)時測量結(jié)果發(fā)送給其它設(shè)備。
LensThick ATW/ATS 系列全自動光學(xué)測厚儀
設(shè)備特點(diǎn)：
LensThick ATW配備晶圓測試模組，LensThick ATS配備單鏡片測試模組；
配備非接觸式光學(xué)測厚儀，測量精度高，速度快，且不會對樣品造成損傷；
采用大理石組合結(jié)構(gòu)，穩(wěn)定性高
XY平臺采用直線電機(jī)及高精度光柵尺，重復(fù)定位精度±0.001mm,位置精度±0.001mm；
采用CCD圖像識別定位，運(yùn)用高精度算法，準(zhǔn)確可靠；
測量時通過CCD圖像校正，保證測量中心位置準(zhǔn)確；
主要配置/設(shè)備關(guān)鍵部件：
非接觸式光學(xué)測厚儀
XYR平臺參數(shù)：
平面度：±0.005mm
直線度：±0.005mm
重復(fù)定位精度：±0.001mm
位置精度：±0.001mm
視覺校正相機(jī)：
2000萬像素
低噪聲，高精度
