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μPhase®高精度干涉儀

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μPhase®系列干涉儀用于測(cè)量高精度要求的光學(xué)零件,材料包括玻璃、塑料、金屬、陶瓷等,非接觸式測(cè)量可保證在不傷害光學(xué)表面的前提下對(duì)光學(xué)表面及波前進(jìn)行較精確的評(píng)價(jià)

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μPhase®系列干涉儀用于測(cè)量高精度要求的光學(xué)零件,材料包括玻璃、塑料、金屬、陶瓷等,非接觸式測(cè)量可保證在不傷害光學(xué)表面的前提下對(duì)光學(xué)表面及波前進(jìn)行較精確的評(píng)價(jià)。μPhase®系列干涉儀得益于該設(shè)備緊湊與模塊化的設(shè)計(jì)理念,使它們得到靈活、高效的使用。μPhase®系列干涉儀的各個(gè)組成部件相對(duì)獨(dú)立,相互兼容,可靈活組合成有針對(duì)性應(yīng)用的強(qiáng)大干涉計(jì)量系統(tǒng)。


 μPhase®干涉儀主機(jī)

μPhase® Vertical

μPhase

測(cè)量各種零件
產(chǎn)品特點(diǎn):
  • 模塊化設(shè)計(jì),結(jié)構(gòu)緊湊;

  • 測(cè)量適用性強(qiáng),保證可以在各種工作與生產(chǎn)環(huán)境中進(jìn)行檢測(cè);

  • 可測(cè)量反射率0.3%-99%的光學(xué)表面,覆蓋范圍廣;

  • 數(shù)字化測(cè)量,避免人為損壞;

  • 的結(jié)構(gòu),全面的軟件,為生產(chǎn)及實(shí)驗(yàn)室提供支持;

  • 無(wú)二的的產(chǎn)品特點(diǎn):泰曼格林型/菲索型組合或用于校準(zhǔn)樣品的第二個(gè)相機(jī),為μPhase®系列干涉儀的使用提供了便利。

 

μPhase® Vertical
  • 適用于廠房、車間、實(shí)驗(yàn)室的標(biāo)準(zhǔn)干涉儀檢測(cè)系統(tǒng)

  • 立式檢測(cè),結(jié)構(gòu)緊湊,占地面積小

  • 標(biāo)配一個(gè)沿Z軸方向電動(dòng)平移的平臺(tái),可選配第二個(gè)平臺(tái)

  • 傾斜及X/Y平移精調(diào)

  • 可完成各種類型的反射與透射檢測(cè)

  • 可采用透射法檢測(cè)雙膠合透鏡

  • 凹面與凸面球面鏡的檢測(cè)范圍:標(biāo)準(zhǔn)曲率半徑范圍:1mm-225mm,

直徑55mm(采用50mm物鏡μLens PLANO 50)
  • 集成半徑測(cè)量單元

  • 可選CGH,用于測(cè)量非球面、柱面、輪胎面等

  • Z軸方向設(shè)置導(dǎo)軌電機(jī),電動(dòng)升降

  • 曲率半徑實(shí)現(xiàn)一鍵式自動(dòng)測(cè)量

 

μPhase® SPHERO UP, μPhase® PLANO UP,μPhase® Plano Down
  • 用于測(cè)量不同的平面和球面光學(xué)零件

  • 操作直觀而簡(jiǎn)單,適合非專業(yè)人士操作

  • 測(cè)量范圍:

μPhase® Plano Down:平面φ≤2 mm 至 150 mm;
μPhase® PLANO UP:平面φ≤2 mm 至 100 mm ;
μPhase® SPHERO UP:球面,曲率半徑(凸面)2mm—  225mm,直徑 55mm ;
球面,曲率半徑(凹面)-3mm—-570mm
  • 結(jié)構(gòu)緊湊,占用空間下,可靈活的與產(chǎn)線結(jié)合   

 

μPhase® UNIVERSAL 100μPhase® Plano 300
  • 用于測(cè)量平面和球面的4英寸干涉檢測(cè)系統(tǒng)

  • 理想的大型平面的檢測(cè)系統(tǒng),光學(xué)材料的均勻性檢測(cè)系統(tǒng)

  • 球面測(cè)量范圍:凹面曲率半徑-3000mm(提供相應(yīng)導(dǎo)軌)

  • 理想的成盤拋光分塊鏡面形檢測(cè)系統(tǒng)

  • 平面測(cè)量范圍:98mm

  • 測(cè)量范圍60-300mm

  • 半徑測(cè)量系統(tǒng)集成導(dǎo)軌和光柵尺

  • 立式檢測(cè)系統(tǒng),其它檢測(cè)方式根據(jù)要求可訂制

  • 適合長(zhǎng)焦光學(xué)零件和系統(tǒng)的檢測(cè)

  • 具有重型光學(xué)元件的支承、調(diào)整等操作功能。

  • 與市場(chǎng)上通用的4英寸標(biāo)準(zhǔn)球面物鏡相兼容


  • 可選旋轉(zhuǎn)對(duì)稱非球面的檢測(cè)配件,檢測(cè)范圍10mm-80mm,CGH檢測(cè)輪胎面、柱面等




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