出色的重復(fù)性和再現(xiàn)性

(1)單拱龍門式設(shè)計(jì)，結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性優(yōu)異，大大降低了周圍環(huán)境中聲音和震動(dòng)噪音對(duì)測(cè)量信號(hào)的影響，提高了測(cè)量精度。；
(2)線性可變差動(dòng)電容傳感器（LVDC），具有亞埃級(jí)分辨率，13um 量程下可達(dá)0.01 埃。高信噪比和低線性誤差，使得產(chǎn)品能夠掃描到幾納米至幾百微米臺(tái)階的形貌特征。;

超微力恒力傳感器：1-50mg可調(diào)

的傳感器設(shè)計(jì)使得在單一平臺(tái)上即可實(shí)現(xiàn)超微力和正常力測(cè)量。測(cè)力恒定可調(diào)，以適應(yīng)硬質(zhì)或軟質(zhì)材料表面。超低慣量設(shè)計(jì)和微小電磁力控制，實(shí)現(xiàn)無(wú)接觸損傷的精準(zhǔn)接觸式測(cè)量。

超平掃描平臺(tái)

系統(tǒng)配有超高直線度導(dǎo)軌，杜絕運(yùn)動(dòng)中的細(xì)微抖動(dòng)，提高掃描精度，真實(shí)反映工件微小形貌。