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LCL-5A 自動(dòng)橢圓偏振測(cè)厚儀

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儀器簡(jiǎn)介:橢圓偏振光譜技術(shù)是近年來隨著現(xiàn)代科技的發(fā)展而迅速發(fā)展起來的光學(xué)無損檢測(cè)方法,在材料、信息、化學(xué)、物理、生命科學(xué)等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景

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儀器簡(jiǎn)介:

    橢圓偏振光譜技術(shù)是近年來隨著現(xiàn)代科技的發(fā)展而迅速發(fā)展起來的光學(xué)無損檢測(cè)方法,在材料、信息、化學(xué)、物理、生命科學(xué)等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景。它已越來越多的用于介電、半導(dǎo)體、金屬、有機(jī)物等各種材料的光學(xué)特性、結(jié)構(gòu)特征、生長(zhǎng)過程和材料質(zhì)量的快速測(cè)試與研究。儀器采用消光式橢圓偏振方式測(cè)量,精度高、自動(dòng)控制,光源采用氦氖激光,波長(zhǎng)精度高,儀器采用USB接口與電腦連接,配套軟件對(duì)采樣數(shù)據(jù)具有多種處理方式,適用于不同需要,軟件有完整版及學(xué)生版兩種版本,適于教學(xué)要求。



實(shí)驗(yàn)內(nèi)容:

1、了解并熟悉儀器的工作原理和性能

2、掌握如何利用設(shè)備測(cè)試樣品的方法



主要配置和參數(shù):

序號(hào)

名稱

規(guī)格和參數(shù)

1

測(cè)量范圍

1nm-4000nm

2

測(cè)量最小值

≤1nm

3

鍍膜折射率范圍

1.300-10.000

4

入射角

40°-90°誤差≤0.05°

5

偏振器方位角讀數(shù)范圍

0°-180°

6

偏振器步進(jìn)角

0.0375°/步

7

測(cè)量精度

±0.5nm(10nm,±0.5nm)

8

光學(xué)中心高度

75mm

9

工作臺(tái)直徑

Φ10mm-Φ120mm

10

厚度

≤10mm









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